[實用新型]單面區域腐蝕的夾具

有效

• 申請號: 201821184066.0
• 申請日: 2018-07-25
• 公開（公告）號: CN208753293U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 李志宏;于博成;孫梅;陳清
• 申請（專利權）人: 北京大學
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/306
• 代理公司: 北京君尚知識產權代理事務所(普通合伙) 11200
• 代理人: 邱曉鋒

1.一種單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，包括：

夾具上部，其上端開口，底部設有通孔；

載片，位于所述夾具上部的下方；

O型圈組，位于所述夾具上部和所述載片之間，且位于所述通孔下方；所述O型圈組包括外部O型圈和內部O型圈，所述外部O型圈用于阻止外部水浴溶液進入，所述內部O型圈用于在其內部放置被腐蝕芯片并阻止腐蝕液腐蝕流出；

夾緊裝置，用于使所述夾具上部和所述載片夾緊。

2.根據權利要求1所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，所述載片為透明載片，用于利用透光性實現終點檢測。

3.根據權利要求1或2所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，還包括壓力平衡環，套在所述夾具上部之外，所述夾緊裝置將所述夾具上部、所述壓力平衡環和所述載片夾緊。

4.根據權利要求3所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，所述壓力平衡環的材質為不銹鋼，所述O型圈組的材質為氟橡膠，所述腐蝕夾具上部的材質為聚四氟，所述載片的材質為石英玻璃。

5.根據權利要求1所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，所述夾具上部的底部的通孔為一個或多個，通過多個所述通孔同時腐蝕多片被腐蝕芯片。

6.根據權利要求1所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，所述夾緊裝置為下列的一種：螺絲、將所述夾具上部和所述載片粘結在一起的粘膠、分別位于所述夾具上部和所述載片上的相互配合的螺紋、分別位于所述夾具上部和所述載片上的相互配合的卡扣。

7.根據權利要求3所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，還包括磁轉子，用于放入所述壓力平衡環內的腐蝕溶液內以實現對腐蝕溶液的攪拌。

8.根據權利要求1所述的單面區域腐蝕的夾具，其特征在于，還包括設置于被腐蝕芯片底部的表面保護膜，所述表面保護膜在對應被腐蝕芯片被保護區域的位置打孔。