[實用新型]加熱裝置以及鍍膜設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821183744.1 | 申請日: | 2018-07-25 |
| 公開(公告)號: | CN209162179U | 公開(公告)日: | 2019-07-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 孫明;王雪戈 | 申請(專利權(quán))人: | 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/22 | 分類號: | C23C14/22;C23C14/54;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司: | 北京華進京聯(lián)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11606 | 代理人: | 王賽 |
| 地址: | 100176 北京市大興區(qū)北京*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 加熱裝置 加熱板 加熱 本實用新型 鍍膜設(shè)備 分區(qū) 測溫組件 加熱組件 可移動 襯底 監(jiān)測 移動 | ||
1.一種加熱裝置,其特征在于,包括:
加熱板(110),具有多個相互獨立的加熱分區(qū)(140);
加熱組件(120),設(shè)置于所述加熱板(110),用于對所述多個相互獨立的加熱分區(qū)(140)分別進行溫度控制;以及
可移動測溫組件(130),能夠相對于所述加熱板(110)進行移動,用于監(jiān)測所述加熱板(110)不同位置的溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱裝置,其特征在于,所述可移動測溫組件(130)包括:
多個溫度傳感器(132),所述多個溫度傳感器(132)的探頭(1322)沿第一方向X間隔排列;
移動機構(gòu)(134),與所述多個溫度傳感器(132)連接,用于帶動所述多個溫度傳感器(132)沿第二方向Y移動。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱裝置,其特征在于,所述第一方向X垂直于所述第二方向Y。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱裝置,其特征在于,所述多個加熱分區(qū)(140)沿所述第一方向X和/或所述第二方向Y依次排列。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱裝置,其特征在于,所述多個加熱分區(qū)(140)包括中心加熱分區(qū)(142)和多個邊緣加熱分區(qū)(144),所述加熱組件(120)包括:
第一加熱元件(122),同時設(shè)置于所述中心加熱分區(qū)(142)和所述多個邊緣加熱分區(qū)(144)中,用于同時對所述中心加熱分區(qū)(142)和所述多個邊緣加熱分區(qū)(144)進行加熱;以及
多個第二加熱元件(124),分別設(shè)置于所述多個邊緣加熱分區(qū)(144)中,用于分別對所述多個邊緣加熱分區(qū)(144)進行獨立加熱。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加熱裝置,其特征在于,所述多個邊緣加熱分區(qū)(144)均勻地設(shè)置在所述中心加熱分區(qū)(142)沿所述第二方向Y相對設(shè)置的兩端。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱裝置,其特征在于,每個所述邊緣加熱分區(qū)(144)均包括沿第一方向X依次排列的多個邊緣加熱子分區(qū)(1442),每一所述邊緣加熱子分區(qū)(1442)中均設(shè)置有獨立控制的所述第二加熱元件(124)。
8.根據(jù)權(quán)利要求5~7任一項所述的加熱裝置,其特征在于,所述第一加熱元件(122)為電阻加熱絲,所述第二加熱元件(124)為紅外加熱燈。
9.一種鍍膜設(shè)備,其特征在于,包括如權(quán)利要求1至8任一項所述的加熱裝置。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鍍膜設(shè)備,其特征在于,還包括鍍膜載體(300),所述加熱裝置的可移動測溫組件(130)包括多個溫度傳感器(132),所述多個溫度傳感器(132)的探頭(1322)沿第一方向X間隔排列;
所述鍍膜載體(300)能夠相對于所述加熱裝置沿所述第一方向X移動。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





