[實用新型]一種晶圓片溫控測試載臺

有效

• 申請號: 201821181793.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208596664U
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 劉振輝;韋日文;林生財;楊波
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 任志龍

1.一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，包括：

供待檢測晶圓片放置的載臺主體(1)；

設置在所述載臺主體(1)上與供水設備連通的進水口接頭(2)和出水口接頭(3)；

設于所述載臺主體(1)內與所述進水口接頭(2)和所述出水口接頭(3)連通并供溫控水流通以對所述載臺主體(1)的溫度進行調控的水道(11)；

設置在所述載臺主體(1)上用于檢測所述載臺主體(1)溫度的溫度傳感器(4)；以及，

與所述溫度傳感器(4)電連接并控制所述水道(11)內的溫控水溫度的控制器(10)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述水道(11)呈迂回布置在所述載臺主體(1)內。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述水道(11)包括：從靠近所述載臺主體(1)的周邊位置延伸至所述載臺主體(1)的中心位置的直流道(111)；若干從所述載臺主體(1)中心位置向所述載臺主體(1)周邊位置呈蜿蜒狀均勻擴散的第一引流道(112)，最內側所述第一引流道(112)靠近所述載臺主體(1)中心的一端與所述直流道(111)一端連通；排布在相鄰兩所述第一引流道(112)之間、兩端分別與兩條相鄰所述第一引流道(112)連通的第二引流道(113)，所述第二引流道(113)內水的流向與所述第一引流道(112)內水的流向相反。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述第一引流道(112)與所述第二引流道(113)寬度相等。

5.根據權利要求2所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述載臺主體(1)底端設有覆蓋在所述水道(11)下方的密封板(5)。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述密封板(5)和所述載臺主體(1)之間設有將所述水道(11)包圍在內的密封槽(6)。

7.根據權利要求5所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述密封板(5)外側設有將所述密封板(5)罩住的隔熱板(7)。

8.根據權利要求1所述的一種晶圓片溫控測試載臺，其特征在于，所述載臺主體(1)上設有空腔，所述載臺主體(1)側端設有與所述空腔導通的氣嘴(8)，所述空腔上端設有供晶圓片放置的承托板(9)，所述承托板(9)上開設有吸孔(91)。