[實用新型]一種鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射專用保護治具

有效

• 申請號: 201821176310.9
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208517509U
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 陳智慧;朱光宇;張正偉;李泓波;賀賢漢
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發展（大連）有限公司
• 主分類號: C23C4/02
• 分類號: C23C4/02
• 代理公司: 大連智高專利事務所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

一種鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射專用保護治具，屬于洗凈溶射遮蔽治具領域。包括主體、連接把手、內部凹槽、外圈凹槽和環狀凸臺；所述主體為圓盤形，主體上設有連接把手，主體下設置外圈凹槽，外圈凹槽內設置環狀凸臺，環狀凸臺內設置圓形的內部凹槽。本實用新型的主體可以對金屬圓盤部件的外部區域進行有效的遮蔽與保護；連接把手方便治具提取使用。

技術領域

本實用新型涉及洗凈溶射遮蔽治具領域，尤其涉及一種半導體設備鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射專用保護治具。

背景技術

溶射，又稱熱噴涂或噴焊，其基本原理是將材料(粉末或線材)加熱熔化，在氣體帶送高速下沖擊附著于底材(或工件)表面、堆積、凝固形成膜厚或涂層，達到防腐蝕、防銹、耐磨、潤滑、表面粗糙化、吸附、絕緣、絕熱等目的，底材進行溶射時需要相應部件配合，部件使用后需要進行洗凈溶射操作，目前對再生中的鎢化硅裝置金屬圓盤部件進行洗凈溶射遮蔽保護時，需要手工采用耐高溫膠帶對部件的非洗凈溶射部分進行遮蔽保護，將膠帶根據部件所需要洗凈遮蔽的形狀范圍進行剪切，但是膠帶在洗凈溶射后無法重復利用，會增加生產成本，同時不同的人使用膠帶剪切保護，無法保證遮蔽部位范圍精度，會增加不良品幾率，此外膠帶覆蓋表面還會有膠殘留，不容易處理。

實用新型內容

為解決現有鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射時沒有專門的治具導致成本增加和出現不良品的問題，本實用新型提供了一種鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射專用保護治具。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射專用保護治具，包括主體、連接把手、內部凹槽、外圈凹槽和環狀凸臺；所述主體為圓盤形，主體上設有連接把手，主體下設置外圈凹槽，外圈凹槽內設置環狀凸臺，環狀凸臺內設置圓形的內部凹槽。

進一步的，所述連接把手包括連接段與手持段，連接段與主體固定連接，手持段直徑大于連接段直徑。

進一步的，所述主體的外周為斜面結構。

進一步的，所述內部凹槽的底面與外圈凹槽的底面位于同一水平面。

進一步的，所述主體與連接把手采用不銹鋼材質。

本實用新型的有益效果是：主體可以對金屬圓盤部件的外部區域進行有效的遮蔽與保護；連接把手方便治具提取使用；治具的材質選用優質耐熱不銹鋼，不易變形；治具相對于人工耐熱膠帶保護能大幅度提高洗凈溶射范圍的精度，同時被保護的金屬圓盤部件表面不會留下殘膠、污垢等副產物；治具可以重復利用，使用方便，精度高，節省人力及物料成本。

附圖說明

圖1為本實用新型的俯視圖；

圖2為本實用新型的剖視圖；

圖3為本實用新型的部分剖視圖；

圖4為本實用新型的仰視圖。

圖中1.主體，2.連接把手，3.內部凹槽，4.環狀凸臺，5.外圈凹槽。

具體實施方式

一種鎢化硅裝置金屬圓盤部件洗凈溶射專用保護治具，該治具是為英特爾使用的半導體設備鎢化硅裝置金屬圓盤部件進行洗凈溶射的專用保護治具，包括主體1、連接把手2、內部凹槽3、外圈凹槽5和環狀凸臺4；所述主體1為圓盤形，主體1上設有連接把手2，主體1下設置外圈凹槽5，外圈凹槽5內設置環狀凸臺4，環狀凸臺4內設置圓形的內部凹槽3；主體1可以對金屬圓盤部件的外部區域進行有效的遮蔽與保護，內部凹槽3，外圈凹槽5和環狀凸臺4與金屬圓盤部件的形狀相配合，起到卡接固定的作用。

所述連接把手2包括連接段與手持段，連接段與主體1固定連接，手持段直徑大于連接段直徑，連接把手2方便治具提取使用。

所述主體1的外周為斜面結構。