[實用新型]一種鎢化硅裝置下半端罩部件洗凈溶射專用保護治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821176226.7
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208517507U
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發(fā)明（設計）人: 朱光宇;陳智慧;張正偉;李泓波;賀賢漢
• 申請（專利權）人: 富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
• 主分類號: C23C4/02
• 分類號: C23C4/02
• 代理公司: 大連智高專利事務所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

一種鎢化硅裝置下半端罩部件洗凈溶射專用保護治具，屬于洗凈溶射遮蔽治具領域。包括外保護罩和內保護罩；所述內保護罩為環(huán)狀結構，環(huán)狀結構包括依次相連的內壁、上端面和卡板A，所述內壁、上端面和卡板A連接組成溝槽B；所述外保護罩為圓環(huán)結構，所述圓環(huán)結構包括垂直連接的水平擋板和豎直擋板。本實用新型的治具的材質選用優(yōu)質不銹鋼，能夠達到比耐高溫膠帶更高的耐熱性；治具能夠提供相對于手工粘貼耐高溫膠帶進行保護更高的洗凈溶射范圍精度；治具可以重復利用，只需經(jīng)過適當?shù)那逑淳涂梢赃_到再使用的要求；治具表面不會留下殘膠和污垢等副產物。

技術領域

本實用新型涉及洗凈溶射遮蔽治具領域，尤其涉及一種半導體設備鎢化硅裝置下半端罩部件洗凈溶射專用保護治具。

背景技術

耐高溫膠帶，即高溫作業(yè)環(huán)境下使用的膠粘帶；耐溫性能通常在120度到260度之間，常用于噴漆、烤漆皮革加工、涂裝遮蔽和電子零件制程中固定、印刷電路板及高溫處理遮蔽，高溫膠帶通常由基材和膠水兩大部分組成，目前在對半導體設備的鎢化硅裝置進行洗凈溶射過程中，需要對部件的非洗凈溶射區(qū)域進行遮蔽保護，通常是采用手工粘貼耐高溫膠帶進行保護，將耐高溫膠帶根據(jù)部件所需要遮蔽的范圍進行粘貼、剪切，此做法洗凈溶射后的耐高溫膠帶無法重復利用，增加生產成本，同時手工剪切耐高溫膠帶進行保護的方法受人工作業(yè)限制，會導致遮蔽范圍精度不足，尤其是保護邊緣位置參次不齊，會造成洗凈溶射效果不良，耐高溫膠帶在使用后還會在表面存留少量殘膠，再次造成不良。

實用新型內容

為解決現(xiàn)有使用耐高溫膠帶對鎢化硅裝置進行洗凈溶射會導致洗凈溶射效果不良的問題，本實用新型提供了一種鎢化硅裝置下半端罩部件洗凈溶射專用保護治具。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種鎢化硅裝置下半端罩部件洗凈溶射專用保護治具，包括外保護罩和內保護罩；所述內保護罩為環(huán)狀結構，環(huán)狀結構包括依次相連的內壁、上端面和卡板A，所述內壁、上端面和卡板A連接組成溝槽B；所述外保護罩為圓環(huán)結構，所述圓環(huán)結構包括垂直連接的水平擋板和豎直擋板。

進一步的，所述內保護罩的最高水平面低于或者等于外保護罩的最低平面。

進一步的，所述外保護罩與內保護罩通過下半端罩部件連接，下半端罩部件一端為卡板B，另一端為固定板，卡板B與固定板之間形成溝槽A，卡板A伸入溝槽A，卡板B伸入溝槽B，卡板A與卡板B貼合連接。

進一步的，所述外保護罩與固定板的上端貼合連接，水平擋板位于固定板的頂面上。

進一步的，所述外保護罩和內保護罩采用不銹鋼材質。

本實用新型的有益效果是：治具的材質選用優(yōu)質不銹鋼，能夠達到比耐高溫膠帶更高的耐熱性；治具能夠提供相對于手工粘貼耐高溫膠帶進行保護更高的洗凈溶射范圍精度；治具可以重復利用，只需經(jīng)過適當?shù)那逑淳涂梢赃_到再使用的要求；治具表面不會留下殘膠和污垢等副產物。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型的主視圖；

圖3為本實用新型的剖視圖；

圖4為本實用新型的部分結構示意圖。

圖中1.外保護罩，2.下半端罩部件，3.孔，4.內保護罩，5.溝槽A，6.溝槽B，7.凹槽，8.固定板，9.卡板A，10.卡板B。

具體實施方式

一種鎢化硅裝置下半端罩部件洗凈溶射專用保護治具，該治具是為英特爾使用的半導體設備鎢化硅裝置下半端罩部件進行洗凈溶射的專用保護治具，包括外保護罩1和內保護罩4；所述內保護罩4為環(huán)狀結構，環(huán)狀結構包括依次相連的內壁、上端面和卡板A9，所述內壁、上端面和卡板A9連接組成溝槽B6；所述外保護罩1為圓環(huán)結構，所述圓環(huán)結構包括垂直連接的水平擋板和豎直擋板。