[實用新型]一種基于步進器的透鏡控制部

有效

• 申請號: 201821173760.2
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208654355U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 周杰;張琪
• 申請（專利權）人: 安徽睿芯半導體科技有限公司
• 主分類號: G02B3/00
• 分類號: G02B3/00
• 代理公司: 杭州君度專利代理事務所(特殊普通合伙) 33240
• 代理人: 王桂名

本實用新型涉及一種基于步進器的透鏡控制部，包括晶片工作臺、光源、縮小投影鏡頭、大氣壓傳感器、壓力調整部、壓力計算機演算部和焦點計算機演算部，光源一端通過折返鏡頭設有與晶片工作臺相連接的控制室，控制室內壁頂部和底部分別設有控制A室和控制B室，控制室一側通過壓力調整部雙向連接有壓力計算機演算部，控制室另一側連接有焦點計算機演算部，壓力計算機演算部和焦點計算機演算部之間設有步進器重復曝光系統傳感器，焦點計算機演算部輸入端同時連接有大氣壓傳感器和控制室，晶片工作臺頂部的檢測器連接有壓力計算機演算部。有益效果：控制效果好和聚焦精度高，透鏡控制倍率能夠有效的達到規范值。

技術領域

本實用新型涉及透鏡控制設備技術領域，具體涉及一種基于步進器的透鏡控制部。

背景技術

步進器是通過切換步進觸點的方式將輸入脈沖數轉換成步進信號的器件。一般用電磁線圈通電驅動步進觸點和電磁線圈斷電驅動步進觸點兩種。多用于輸入脈沖的計數、插孔操縱臺轉換回路、時序控制回路和多點巡回檢測切換回路。

步進器內的透鏡系控制部是步進器的重要組成部分，長時間的露光會導致透鏡的熱脹冷縮，為保證步進器重復曝光系統縮小投影鏡頭的解像力及套刻精度達到要求，需要引入鏡頭控制部來控制其倍率和聚焦點，現有的透鏡控制部透鏡照射量、晶片發射量、壓力控制演算部和倍率的微量調整往往不能形成一體化，從而影響到倍率達不到規范值，降低了透鏡控制部的實用性。

實用新型內容

本實用新型目的是提供一種基于步進器的透鏡控制部，提供一種控制效果好和聚焦精度高的透鏡控制部。

為了實現以上目的，本實用新型采用的技術方案為：一種基于步進器的透鏡控制部，包括晶片工作臺、光源、縮小投影鏡頭、大氣壓傳感器、壓力調整部、壓力計算機演算部和焦點計算機演算部，所述光源一端通過折返鏡頭設有與所述晶片工作臺相連接的控制室，所述控制室內壁頂部和底部分別設有控制A 室和控制B室，所述控制室一側通過所述壓力調整部雙向連接有所述壓力計算機演算部，所述控制室另一側連接有所述焦點計算機演算部，所述壓力計算機演算部和所述焦點計算機演算部之間設有步進器重復曝光系統傳感器，所述焦點計算機演算部輸入端同時連接有所述大氣壓傳感器和所述控制室，所述晶片工作臺頂部的檢測器連接有所述壓力計算機演算部，所述壓力計算機演算部輸入端連接有位于所述光源和所述折返鏡頭之間的反射量傳感器。

進一步的，所述折返鏡頭和所述控制室之間設有與所述光源相連接的對物鏡頭。

進一步的，所述控制室一側安裝有與焦點控制器雙向連接的自動聚焦部。

進一步的，所述大氣壓傳感器和反射量傳感器型號分別為MIK-P300和 KFD2-STC4-EX2。

進一步的，所述壓力計算機演算部輸出端連接有顯示裝置。

本實用新型的技術效果在于：光源通過折返鏡頭進入到晶片工作臺上的控制室，壓力計算機演算部和焦點計算演算部分別能夠計算光束在控制室的壓力和焦點精度，大氣壓傳感器配合步進器重復曝光系統傳感器能夠將晶片反射量和透鏡照射量及時的反饋到控制室中，使得各個裝置和系統形成一體化，然后由風箱驅動部通過管道驅動空氣進入到透鏡間的空隙，改變透鏡間的空氣密度，導致折射率的變化，從而影響倍率使其達到規范值，這樣的步進器透鏡控制部大大提高了使用性能，控制效果好和聚焦精度高，應用范圍得到提高。

附圖說明

圖1為本實用新型基于步進器透鏡控制部的結構示意圖。

附圖標記：1-晶片工作臺；2-光源；3-縮小投影鏡頭；4-大氣壓傳感器； 5-壓力調整部；6-壓力計算機演算部；7-焦點計算機演算部；8-折返鏡頭；9- 控制室；10-步進器重復曝光系統傳感器；11-檢測器；12-反射量傳感器；13- 對物鏡頭；14-自動聚焦部；15-顯示裝置。

具體實施方式