[實用新型]一種硅片固態蠟貼片

有效

• 申請號: 201821169567.1
• 申請日: 2018-07-24
• 公開（公告）號: CN208608173U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 徐信富;郭金娥;趙世印;章云杰;王建偉;徐茂圣;苗戰彪;袁大雙
• 申請（專利權）人: 洛陽市鼎晶電子材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 洛陽潤誠慧創知識產權代理事務所(普通合伙) 41153
• 代理人: 智宏亮

一種硅片固態蠟貼片，涉及硅片技術領域，包括第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿、第四限位桿、套筒、手持部、底座和盛放筒，在底座上設有第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿，第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿之間設有若干個套筒，套筒的外部設有手持部，套筒的內部設有盛放筒；本實用新型結構簡單、實用性強，不但可以在工作中減輕工作人員的工作量，而且高效地完成了硅片的固態蠟貼片，同時保證了固態蠟貼片的精準和穩定，大大提高了工作效率。

技術領域

本實用新型涉及硅片技術領域，尤其是涉及一種硅片固態蠟貼片。

背景技術

公知的，涂蠟是硅片的生產過程中一道非常重要的工序，而且硅片涂蠟的質量直接影響了后續的生產工序，如果硅片涂蠟過量或者不足量，或者硅片涂蠟不均勻，都會造成后續生產工序的失敗，為了保證蠟膜的均勻和厚度的可控性，通常采用固態蠟貼片的方式來給硅片進行涂蠟，但是現有技術中使用固態蠟貼片通常需要人工單片操作，而且在人工操作的過程中要時刻避免顆粒粘在蠟或者硅片上，操作起來非常麻煩，不利于工作的順利進行。

實用新型內容

為了克服背景技術中的不足，本實用新型公開了一種硅片固態蠟貼片，本實用新型通過在底座上設置盛放筒和套筒，以此來達到同時對多個硅片進行固態蠟貼片的目的。

為了實現所述實用新型目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種硅片固態蠟貼片，包括第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿、第四限位桿、套筒、手持部、底座和盛放筒，在底座上設有第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿，第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿之間設有若干個套筒，套筒的外部設有手持部，套筒的內部設有盛放筒。

所述底座為圓柱型結構，底座的頂部面上分別設有第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿。

所述第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿均為圓柱型結構，第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿的粗細相同、高度相同，第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿的底部分別插入到底座的頂部面，第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿均與底座呈垂直結構連接，第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿和第四限位桿等距分布在底座頂部面的邊緣。

所述套筒為開口朝下的圓筒型結構，套筒外側壁的底部設有手持部，手持部為圓環型結構，手持部的內圈與套筒的外壁連接。

所述盛放筒為圓筒型結構，盛放筒的開口朝上，盛放筒的外壁直徑小于等于套筒的內壁直徑，盛放筒由彈性材料制作而成。

由于采用了上述技術方案，本實用新型具有如下有益效果：

本實用新型所述的一種硅片固態蠟貼片，包括第一限位桿、第二限位桿、第三限位桿、第四限位桿、套筒、手持部、底座和盛放筒，通過在底座上設置盛放筒和套筒，以此來達到同時對多個硅片進行固態蠟貼片的目的；本實用新型結構簡單、實用性強，不但可以在工作中減輕工作人員的工作量，而且高效地完成了硅片的固態蠟貼片，同時保證了固態蠟貼片的精準和穩定，大大提高了工作效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖2為本實用新型套筒和盛放筒的拆分結構示意圖；

圖中：1、第一限位桿；2、第二限位桿；3、第三限位桿；4、第四限位桿；5、套筒；6、手持部；7、底座；8、盛放筒。

具體實施方式

通過下面的實施例可以詳細的解釋本實用新型，公開本實用新型的目的旨在保護本實用新型范圍內的一切技術改進。