[實用新型]一種帶CCD定位相機鏡頭的晶圓翻轉取料綁定裝置

有效

• 申請號: 201821162902.5
• 申請日: 2018-07-23
• 公開（公告）號: CN208787778U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 謝亮春
• 申請（專利權）人: 深圳市新晶路電子科技有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;B23K26/362
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548
• 代理人: 李靜

一種帶CCD定位相機鏡頭的晶圓翻轉取料綁定裝置，包括支架、兩Y向驅動模組、兩綁定頭、兩翻轉頭、兩CCD定位相機鏡頭，兩Y向驅動模組平行設于支架上，且一Y向驅動模組與一綁定頭驅動連接，兩綁定頭分別設有X向驅動模組；兩翻轉頭分別設于Y向驅動模組的兩端，兩CCD定位相機鏡頭分別設于Y向驅動模組的兩端，且CCD定位相機鏡頭位于翻轉頭的下方，翻轉頭由翻轉驅動電機驅動向綁定頭一側翻動，且翻轉頭翻轉后，翻轉頭中心與CCD定位相機鏡頭中心處于同心。綁定頭取片后，即可由CCD定位相機鏡頭對綁定頭上的晶圓進行位置識別，提供了加工效率；為兩個綁定頭分別設置了X向驅動模組，實現了兩個綁定頭同時吸取晶圓后同時糾正位置，以及同時貼片的功能。

技術領域

本實用新型涉及晶圓激光打標機領域，尤指一種帶CCD定位相機鏡頭的晶圓翻轉取料綁定裝置。

背景技術

目前，在自動晶圓激光打標機中，一般通過晶圓翻轉頭對晶圓進行翻面，然后通過晶圓綁定頭吸取晶圓，吸料完成后，通過CCD相機讀取晶圓綁定頭上晶圓的位置信息，晶圓綁定頭再依靠信息通過移動機構對晶圓的位置進行糾正，以便準確貼片。而用于移動晶圓綁定頭的機構，主要包括水平面內相互垂直的Y 向移動機構和X向移動機構，以及θ角旋轉機構，三者配合以實現綁定頭在水平面內平移和旋轉，直至晶圓位置正確。

現有的加工設備中，兩個綁定頭是共用一個X向運動機構來工作的，因此，兩個綁定頭上吸取的晶圓只能先后糾正位置和先后貼片，無法同時進行貼片，使得生產效率較為低下，無法滿足大批量生產加工的需要。此外，CCD相機一般安裝在晶圓翻轉頭旁邊，晶圓綁定頭取片后要移動到CCD相機鏡頭的中心，CCD 相機方能讀取晶圓綁定頭上晶圓的位置，這無疑增加了操作的復雜度，降低了生產效率。

發明內容

為解決上述問題，本實用新型提供一種使用方便、提高工率、易于改裝的帶CCD定位相機鏡頭的晶圓翻轉取料綁定裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種帶CCD定位相機鏡頭的晶圓翻轉取料綁定裝置，包括支架、兩Y向驅動模組、兩綁定頭、兩翻轉頭、兩CCD定位相機鏡頭，所述兩Y向驅動模組平行設于支架上，且一Y向驅動模組與一綁定頭驅動連接，兩綁定頭分別設有X向驅動模組，所述X向驅動模組包括基座、X向驅動電機、X向驅動絲桿、X向絲桿螺母、X向移動板、X向滑軌、X向滑塊，所述Y向驅動模組與基座驅動連接，所述X向驅動電機固設于基座上，所述X向驅動絲桿垂直于Y向驅動模組水平設置，且X向驅動電機的輸出端與X向驅動絲桿驅動連接，所述X向絲桿螺母套接在X向驅動絲桿表面并與X向移動板固定連接，所述綁定頭設于X向移動板上，所述X向滑軌平行于X向驅動絲桿設于基座上，所述X向滑塊套接在X向滑軌表面并與X向移動板固定連接；所述兩翻轉頭分別設于Y向驅動模組的兩端，所述兩CCD定位相機鏡頭分別設于Y向驅動模組的兩端，且CCD定位相機鏡頭位于翻轉頭的下方，所述翻轉頭由翻轉驅動電機驅動向綁定頭一側翻動，且翻轉頭翻轉后，翻轉頭中心與CCD定位相機鏡頭中心處于同心。

具體地，還包括Z向驅動模組，所述Z向驅動模組包括Z向驅動電機、連接塊、Z向滑軌、Z向滑塊，所述Z向驅動電機固設于X向移動板上，且Z向驅動電機的輸出端與連接塊驅動連接并驅動連接塊沿豎直移動，所述Z向滑軌豎直設于X向移動板上，所述Z向滑塊套接在Z向滑軌表面并與連接塊固定連接，所述綁定頭設于連接塊上。

具體地，還包括旋轉驅動電機，所述旋轉驅動電機設于連接塊上并與綁定頭驅動連接，旋轉驅動電機驅動綁定頭旋轉。

具體地，所述Y向驅動模組包括Y向驅動電機、Y向驅動絲桿、Y向絲桿螺母、Y向滑軌、Y向滑塊，所述Y向驅動電機固設于支架上，所述Y向驅動絲桿水平設置，且Y向驅動電機的輸出端與Y向驅動絲桿驅動連接，所述Y向絲桿螺母套接在Y向驅動絲桿表面并與基座固定連接，所述Y向滑軌平行于Y向驅動絲桿設于支架上，所述Y向滑塊套接在Y向滑軌表面并與基座固定連接。

具體地，所述X向滑軌設于兩條且上下平行，所述移動板的上下兩端分別通過X向滑塊套接在X向滑軌表面。