[實用新型]自動對位曝光機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821161874.5
• 申請日: 2018-07-20
• 公開（公告）號: CN208421518U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 程新安
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市三字自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;汪發(fā)春

1.一種自動對位曝光機(jī)，其包括上曝光燈、下曝光燈、用以放置一上菲林片的上對位平臺、位于上對位平臺下方用以放置一下菲林片的下對位平臺、用于放置基板的定位平臺及至少一CCD攝像模塊，所述定位平臺位于上對位平臺與下對位平臺之間，其特征在于：所述至少一CCD攝像模塊在上曝光燈及下曝光燈第一次曝光之前，對上菲林片及下菲林片上的預(yù)定參考點進(jìn)行取像，促使上對位平臺與下對位平臺進(jìn)行位置調(diào)整，實現(xiàn)上菲林片與下菲林片上的預(yù)定參考點完全重合，所述上曝光燈及下曝光燈每次曝光完成后，能夠在基板上成型圖形及用于提供下一次上菲林片、下菲林片與基板進(jìn)行對位的曝光參考點。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光機(jī)，其特征在于：所述上對位平臺在曝光之前帶動上菲林片向下移動后與基板貼合，在曝光完成后帶動上菲林片向上移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動對位曝光機(jī)，其特征在于：所述自動對位曝光機(jī)包含第一、第二CCD攝像模塊，所述第一、第二CCD攝像模塊用于取像基板上的上一次曝光成型的曝光參考點，便于實現(xiàn)該曝光參考點與上菲林片、下菲林片的預(yù)定參考點精確對位。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動對位曝光機(jī)，其特征在于：所述自動對位曝光機(jī)還包含第三CCD攝像模塊，所述第三CCD攝像模塊用于取像上菲林片、下菲林片的預(yù)定參考點進(jìn)行位置復(fù)檢。