[實用新型]一種柔性電阻式壓力傳感器陣列有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821155139.3 | 申請日： | 2018-07-20 |
| 公開（公告）號： | CN208721291U | 公開（公告）日： | 2019-04-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 蔡民;杜以樸;宋吉舟;聶爽;王成軍;張順;岑諾;鐘雯祎;鄧四維 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué) |
| 主分類號： | G01L1/20 | 分類號： | G01L1/20;G01L9/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡紅娟 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓力傳感器陣列 導(dǎo)電金屬線 薄膜金屬 電極層 功能層 本實用新型 等距排列 基層薄膜 柔性彈性 柔性電阻 低工作電壓 多路選通器 運(yùn)算放大器 薄膜覆蓋 表面封裝 垂直交叉 疊合裝配 高靈敏度 快速響應(yīng) 陣列規(guī)模 制備工藝 低成本 微結(jié)構(gòu) 線連接 凸起 薄膜 恢復(fù) | ||
1.一種柔性電阻式壓力傳感器陣列，包括表面封裝層、電極層和功能層，其特征在于，所述電極層包括基層薄膜以及基層薄膜上的若干條等距排列的薄膜金屬線，所述薄膜金屬線連接有多路選通器；
所述功能層為表面帶有凸起微結(jié)構(gòu)的柔性彈性薄膜，所述柔性彈性薄膜覆蓋有若干條等距排列的導(dǎo)電金屬線，所述導(dǎo)電金屬線連接有運(yùn)算放大器；
所述電極層的薄膜金屬線和功能層的導(dǎo)電金屬線以垂直交叉的方式疊合裝配。
2.如權(quán)利要求1所述的柔性電阻式壓力傳感器陣列，其特征在于，所述的表面封裝層為薄膜結(jié)構(gòu)、厚膜結(jié)構(gòu)、多孔結(jié)構(gòu)、表面粗糙結(jié)構(gòu)中的任意一種或多種。
3.如權(quán)利要求1所述的柔性電阻式壓力傳感器陣列，其特征在于，所述凸起微結(jié)構(gòu)為錐形陣列結(jié)構(gòu)或蜂窩狀結(jié)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求1所述的柔性電阻式壓力傳感器陣列，其特征在于，所述的柔性彈性薄膜的材料為PDMS。
5.如權(quán)利要求1所述的柔性電阻式壓力傳感器陣列，其特征在于，所述的導(dǎo)電金屬線由若干層金屬疊合而成，每層的厚度為5納米-100微米，至少有一層為導(dǎo)電金屬。
6.如權(quán)利要求1所述的柔性電阻式壓力傳感器陣列，其特征在于，所述的導(dǎo)電金屬線采用鉻金雙層金屬，通過鉻將金粘接在所述的柔性彈性薄膜上。
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