[實(shí)用新型]一種鍍鍋軸

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821147037.7
• 申請(qǐng)日: 2018-07-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208545488U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王福平;錢(qián)軍
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 愛(ài)發(fā)科真空技術(shù)（蘇州）有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/50
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/50;C23C14/24
• 代理公司: 北京同恒源知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11275
• 代理人: 劉憲池

一種鍍鍋軸，它包括依次連接的鍍鍋取付軸(1)、鍍鍋固定座(2)以及回轉(zhuǎn)輪安裝軸(3)，所述鍍鍋取付軸(1)的前端部設(shè)有貫穿鍍鍋取付軸(1)的取付卡銷(xiāo)(4)，所述回轉(zhuǎn)輪安裝軸(3)末端設(shè)有彈簧銷(xiāo)孔(5)，靠近回轉(zhuǎn)輪安裝軸(3)末端處還設(shè)有圓周向的卡環(huán)槽(6)，所述彈簧銷(xiāo)孔(5)設(shè)在所述卡環(huán)槽(6)的外側(cè)回轉(zhuǎn)輪安裝軸(3)的端部，所述鍍鍋固定座(2)為圓柱形，所述鍍鍋固定座(2)內(nèi)設(shè)有沿圓周向分布的鍍鍋固定用沉孔(7)，所述鍍鍋固定座(2)與回轉(zhuǎn)輪安裝軸(3)連接處沿圓周向設(shè)有加強(qiáng)筋(8)。本實(shí)用新型至少具有強(qiáng)度高，不易掉落，安全性提高，成品率提高等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及連接鍍鍋的一種鍍鍋軸。

背景技術(shù)

在高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備領(lǐng)域，由于行星轉(zhuǎn)鍍鍋方式的裝片量比較多，被廣泛采用。行星轉(zhuǎn)的方式是在真空鍍膜設(shè)備的腔體內(nèi)上部安裝一個(gè)公轉(zhuǎn)軌道，作為回轉(zhuǎn)軌道。軌道上安裝回轉(zhuǎn)治具，回轉(zhuǎn)治具的公轉(zhuǎn)輪子在軌道上回轉(zhuǎn)(公轉(zhuǎn))。鍍鍋通過(guò)鍍鍋軸與回轉(zhuǎn)輪子連接，回轉(zhuǎn)輪子在回轉(zhuǎn)時(shí)，帶動(dòng)鍍鍋高速回轉(zhuǎn)。鍍鍋在單位時(shí)間內(nèi)高速進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，鍍鍋上裝載的基片同樣進(jìn)行公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，基片在鍍膜范圍內(nèi)反復(fù)移動(dòng)，從而保證了鍍膜的均勻性。

現(xiàn)有技術(shù)中普遍采用的鍍鍋軸與公轉(zhuǎn)輪子連接方式是在鍍鍋軸上，加工一個(gè)銷(xiāo)孔，銷(xiāo)孔上安裝一個(gè)小的圓形銷(xiāo)子，銷(xiāo)子通過(guò)與公轉(zhuǎn)輪子上的U型凹槽嵌合，形成嚙合連接。

現(xiàn)有技術(shù)的缺陷：由于鍍鍋軸上加工了上述銷(xiāo)孔，所以軸的整體強(qiáng)度降低，容易發(fā)生彎曲變形和卡死。在鍍鍋及鍍鍋上裝載產(chǎn)品的重量較重時(shí)，高速回轉(zhuǎn)時(shí)由于離心力的不平衡性，引起鍍鍋軸變形，從而導(dǎo)致鍍鍋的角度發(fā)生變化，在回轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)生卡死或與腔體碰撞的問(wèn)題。連接公轉(zhuǎn)輪和鍍鍋軸的卡夾零件在使用時(shí)間稍長(zhǎng)后，由于彈性變形的原因，不能把鍍鍋軸卡牢固，在高速回轉(zhuǎn)時(shí)，容易引起鍍鍋掉落，造成產(chǎn)品報(bào)廢和腔體內(nèi)部品損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種鍍鍋軸，其至少具有強(qiáng)度高，不易掉落，安全性提高，成品率提高等優(yōu)點(diǎn)。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種鍍鍋軸，它包括依次連接的鍍鍋取付軸、鍍鍋固定座以及回轉(zhuǎn)輪安裝軸，所述鍍鍋取付軸的前端部設(shè)有貫穿鍍鍋取付軸的取付卡銷(xiāo)，所述回轉(zhuǎn)輪安裝軸末端設(shè)有彈簧銷(xiāo)孔，靠近回轉(zhuǎn)輪安裝軸末端處還設(shè)有圓周向的卡環(huán)槽，所述彈簧銷(xiāo)孔設(shè)在所述卡環(huán)槽的外側(cè)回轉(zhuǎn)輪安裝軸的端部，所述鍍鍋固定座為圓柱形，所述鍍鍋固定座內(nèi)設(shè)有沿圓周向分布的鍍鍋固定用沉孔，所述鍍鍋固定座與回轉(zhuǎn)輪安裝軸連接處沿圓周向設(shè)有加強(qiáng)筋。

作為優(yōu)選實(shí)施方案之一，所述鍍鍋固定座內(nèi)均勻分布有四個(gè)鍍鍋固定用沉孔。

作為優(yōu)選實(shí)施方案之一，所述加強(qiáng)筋為凸起狀，沿鍍鍋固定座和回轉(zhuǎn)輪安裝軸的連接處，圓周向均勻分布。

優(yōu)選地，所述加強(qiáng)筋有四個(gè)。

作為優(yōu)選實(shí)施方案之一，所述鍍鍋取付軸、鍍鍋固定座以及回轉(zhuǎn)輪安裝軸為一體加工成型。

本實(shí)用新型的有益效果：

本實(shí)用新型通過(guò)去掉鍍鍋軸上的銷(xiāo)孔，而增加加強(qiáng)筋結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)了軸的整體強(qiáng)度，解決了軸的彎曲變形問(wèn)題，提高了生產(chǎn)安全性和成品率，同時(shí)加強(qiáng)筋還能夠起到為回轉(zhuǎn)輪的回轉(zhuǎn)軸套提供定位的作用。同時(shí)，在本實(shí)用新型頂端，增加了彈簧銷(xiāo)孔，可以配裝彈簧插銷(xiāo)。本實(shí)用新型與鍍鍋之間的連接結(jié)構(gòu)更加緊密、穩(wěn)定可靠，徹底解決了在鍍鍋高速回轉(zhuǎn)時(shí)，因卡夾固定的不牢固導(dǎo)致的鍍鍋掉落問(wèn)題。因此，本實(shí)用新型至少具有強(qiáng)度高，不易掉落，安全性提高，成品率提高等優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

下面利用附圖來(lái)對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明，但是附圖中的實(shí)施例不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的任何限制。

圖1是本實(shí)用新型一優(yōu)選實(shí)施例的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。