[實用新型]微流體器件

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821138534.0
• 申請日: 2018-07-18
• 公開（公告）號: CN209079461U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: D·朱斯蒂;M·卡塔內(nèi)奧;C·L·佩瑞里尼
• 申請（專利權(quán)）人: 意法半導(dǎo)體股份有限公司
• 主分類號: B41J2/015
• 分類號: B41J2/015;B41J2/135;B41J2/14
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 王茂華;呂世磊

1.一種微流體器件，其特征在于，包括：

多個噴射器元件，每個噴射器元件包括：

第一區(qū)域，具有第一流體流動通道和致動器室；

在所述致動器室中的致動器；

第二區(qū)域，具有流體耦合到所述第一流體流動通道的流體容納室，所述第二區(qū)域包括：

耦合到所述第一區(qū)域的膜層，所述膜層具有封閉所述流體容納室并且支撐所述致動器的第一表面；

膜限定層，耦合到所述膜層并且具有膜限定開口，所述膜限定開口在所述膜限定層的平面中具有寬度；以及

腔室限定體，耦合到所述膜限定層并且具有腔室限定開口；以及

第三區(qū)域，耦合到所述第二區(qū)域并且具有流體耦合到所述流體容納室的第二流體流動通道；

其中所述流體容納室由所述膜層、所述膜限定層、所述腔室限定體和所述第三區(qū)域界定，

其中所述腔室限定開口在平行于所述平面的方向上的寬度大于所述膜限定開口的寬度，以及

其中所述膜限定開口在所述膜層中限定柔性膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述流體容納室在長度方向上具有第一端和第二端，所述第一流體流動通道在所述流體容納室的所述第一端處伸出，并且所述第二流體流動通道在所述流體容納室的所述第二端處伸出。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述膜限定開口和所述腔室限定開口具有矩形形狀，并且其中所述腔室限定開口具有更大的面積并且包圍所述膜限定開口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述膜限定層由第一材料制成，其中所述膜層由第二材料制成，其中所述膜限定層被第三材料的第一保護(hù)層包圍，并且其中所述膜層在與所述第一表面相對的第二表面上被第四材料的第二保護(hù)層覆蓋。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的器件，其特征在于，所述第一材料和所述第二材料是半導(dǎo)體材料，并且其中所述第一保護(hù)層和所述第二保護(hù)層由電介質(zhì)材料制成。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述膜限定層具有第一厚度，并且所述腔室限定體具有第二厚度，并且其中所述第二厚度大于所述第一厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述致動器是壓電致動器，所述壓電致動器包括：

在所述膜層的第一表面上的第一電極；

在所述第一電極之上延伸的壓電層；

在所述壓電層之上延伸的第二電極；

至少部分地在所述膜層之上以及在第一電極和所述第二電極之上延伸的電介質(zhì)層；以及

至少部分地在所述電介質(zhì)層之上延伸的第一接觸軌和第二接觸軌。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件，其特征在于，所述第一流體流動通道是入口通道，并且所述第二流體流動通道是出口通道。

9.一種微流體器件，其特征在于，包括：

多個噴射器元件，每個噴射器元件包括：

第一部分，具有第一流體流動通道和開口；

第二部分，包括：

膜層，耦合到所述第一本體，所述膜層覆蓋所述第一本體的開口并且形成致動器室；

膜限定層，耦合到所述膜層并且具有膜限定開口，所述膜限定開口在所述膜層中限定柔性膜，所述膜限定開口在所述膜限定層的平面中具有寬度；以及

腔室限定體，耦合到所述膜限定層并且具有腔室開口，其中所述腔室開口在平行于所述平面的方向上的寬度大于所述膜限定開口的寬度；

耦合到所述第二部分的第三部分，其中所述第三部分、所述膜層和所述第三部分的所述腔室限定體中的腔室開口形成流體容納室，其中所述第三部分包括流體耦合到所述流體容納室的第二流體流動通道；以及

位于所述柔性膜上并且在所述致動器室中的致動器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微流體器件，其特征在于，所述第一流體流動通道是入口通道，并且所述第二流體流動通道是出口通道。