[實用新型]一種用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐

有效

• 申請號: 201821138443.7
• 申請日: 2018-07-18
• 公開（公告）號: CN208995533U
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 河北林匯耐磨材料科技有限公司
• 主分類號: C21D1/26
• 分類號: C21D1/26;C21D9/00
• 代理公司: 石家莊德皓專利代理事務所(普通合伙) 13129
• 代理人: 劉磊娜;楊瑞龍

本實用新型公開了一種用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐，包括殼體，所述殼體內壁的下表面固定連接有四個伸縮裝置，所述伸縮裝置的頂端固定連接有固定板，所述固定板的左右兩側面均固定連接有滑塊，且兩個滑塊分別滑動連接在兩個滑槽內，且兩個滑槽分別開設在殼體內壁的左右兩側面，所述固定板的上表面固定連接有第一支撐板。該用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐，通過電機、第一齒輪、第二齒輪、第一轉軸、第二轉軸、第一軸承、第二軸承、滑塊、滑槽、固定板、伸縮桿和彈簧之間的相互配合，從而使得精品耐磨襯板可以在退火爐本體內進行均勻的散熱，從而提高了退火爐本體的降溫速度，從而提高了退火爐本體的工作效率。

技術領域

本實用新型涉及退火爐技術領域，具體為一種用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐。

背景技術

退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能，熱處理是針對不同的效果而設計的，可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。

現有的退火爐不具備翻轉功能，使得精品耐磨襯板不能在退火爐內均勻的進行降溫，使得精品耐磨襯板的降溫速度慢，從而降低了退火爐的工作效率，并且傳統的退火爐在工作時會發生震動，退火爐在這種情況下長時間工作會降低退火爐的使用壽命。

實用新型內容

(一)解決的技術問題

針對現有技術的不足，本實用新型提供了一種用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐，解決了使得精品耐磨襯板的降溫速度慢，從而降低了退火爐的工作效率，并且傳統的退火爐在工作時會發生震動，退火爐在這種情況下長時間工作會降低退火爐的使用壽命的問題。

(二)技術方案

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐，包括殼體，所述殼體內壁的下表面固定連接有四個伸縮裝置，所述伸縮裝置的頂端固定連接有固定板。

所述固定板的左右兩側面均固定連接有滑塊，且兩個滑塊分別滑動連接在兩個滑槽內，且兩個滑槽分別開設在殼體內壁的左右兩側面，所述固定板的上表面固定連接有第一支撐板，所述第一支撐板的右側面卡接有第一軸承，且第一軸承的內表面套接有第一轉軸，且第一轉軸的右端與退火爐本體的左側面固定連接，且退火爐本體的右側面固定連接有第二轉軸。

所述第二轉軸的表面套接有第二軸承，且第二軸承卡接在第二支撐板的左側面，且第二轉軸的表面卡接有第一齒輪，所述第一齒輪與驅動裝置嚙合，且驅動裝置卡接在第二支撐板的下表面。

優選的，所述伸縮裝置包括伸縮桿，所述伸縮桿的表面套接有彈簧，且伸縮桿和彈簧的兩端分別與固定板的下表面和殼體內壁的下表面固定連接。

優選的，所述驅動裝置包括電機，所述電機的輸出軸固定連接有第二齒輪，且第二齒輪與第一齒輪嚙合，且電機的機身卡接在第二支撐板的上表面。

優選的，所述滑塊設置為T形滑塊，且滑槽設置為T形滑槽。

優選的，所述殼體的右側面固定連接電源，所述電源的右側面固定連接有開關。

優選的，所述電機的輸入端分別通過導線與開關的輸出端電連接，所述開關的輸入端通過導線與電源的輸出端電連接。

(三)有益效果

本實用新型提供了一種用于精品耐磨襯板制備的翻轉退火爐，具備以下有益效果：