[實用新型]三氯化硼尾氣處理裝置

有效

• 申請號: 201821137383.7
• 申請日: 2018-07-18
• 公開（公告）號: CN208642244U
• 公開（公告）日: 2019-03-26
• 發明（設計）人: 梁永強
• 申請（專利權）人: 和立氣體（上海）有限公司
• 主分類號: B01D53/18
• 分類號: B01D53/18;B01D53/75;B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 上海怡恩專利代理事務所(普通合伙) 31336
• 代理人: 牟俊玲

1.三氯化硼尾氣處理裝置，其特征在于：包括水洗系統、空氣供應系統、文丘里管和引風系統；

所述水洗系統包括依次串聯的緩沖水洗塔、一級水洗塔和二級水洗塔，所述緩沖水洗塔、所述一級水洗塔、所述二級水洗塔底部均設有與其連通的水箱，緩沖水洗塔、一級水洗塔、二級水洗塔上還設有將其上部與所述水箱連通的循環管和循環泵，一級水洗塔、二級水洗塔內均填充有空心球填料，緩沖水洗塔頂部通過管道與一級水洗塔底部連通，一級水洗塔頂部通過管道與二級水洗塔底部連通；

所述文丘里管一端連通至尾氣進入管，另一端連通至緩沖水洗塔底部；

所述空氣供應系統包括順次連接的過濾器、空壓機、干燥器和氣體緩沖罐，所述氣體緩沖罐通過管道與文丘里管連通；

所述引風系統包括氣液分離器和與所述氣液分離器連接的引風機，氣液分離器通過管道與二級水洗塔頂部連通。

2.根據權利要求1所述的三氯化硼尾氣處理裝置，其特征在于:所述水箱底部還設有沉淀池，沉淀池底部設有排污閥。

3.根據權利要求1所述的三氯化硼尾氣處理裝置，其特征在于:所述尾氣進入管上還設有閥門。

4.根據權利要求1所述的三氯化硼尾氣處理裝置，其特征在于:所述空氣緩沖罐與所述文丘里管連通的管道上還設有流量計。