[實用新型]硅片間距轉換系統

有效

• 申請號: 201821123334.8
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN208385435U
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 潘加永;戴秋喜
• 申請（專利權）人: 蘇州映真智能科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片間距轉換系統，其特征在于，包括機械手組件、水平收載機構和輸送組件，其中，所述機械手組件用于將硅片生產中前道加工工序承載裝置上的下料硅片組抓取并使所述硅片組處于水平方向，及將處于水平方向的所述硅片組送入至所述水平收載機構上；所述水平收載機構用于收取所述機械手組件送入的硅片組；所述輸送組件用于將所述水平收載機構上的硅片逐片輸送至后道加工工序的承載裝置上；

所述水平收載機構包括升降組件和連接在所述升降組件上的頂板，所述升降組件可帶動所述頂板上升或下降，在所述頂板底部豎直設置有第一側板和第二側板，所述第一側板和第二側板可相互靠近或相互遠離；

在所述第一側板靠近所述第二側板的一側上豎直并排設有多個第一齒片，兩個相鄰的第一齒片之間限定出一個第一齒槽，在所述第二側板靠近所述第一側板的一側上豎直并排設有多個第二齒片，兩個相鄰的第二齒片之間限定出一個第二齒槽，相對設置的每兩個第一齒槽和第二齒槽之間限定出一個硅片插槽，每個所述硅片插槽可容納一片硅片；

所述輸送組件包括輸送帶，所述輸送帶可與所述硅片插槽對接。

2.根據權利要求1所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，所述機械手組件包括翻轉裝置及連接在所述翻轉裝置上的多個真空吸盤，所述多個真空吸盤用于吸取前道加工工序承載裝置上的下料硅片組，所述翻轉裝置用于使所述硅片組處于水平方向。

3.根據權利要求1所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，所述升降組件包括豎直設置的滑軌及可沿所述滑軌滑行的滑塊，所述頂板連接在所述滑塊上。

4.根據權利要求3所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，所述升降組件還包括伺服電機、豎直設置的螺桿和套設在所述螺桿上的滾珠螺母，所述螺桿由所述伺服電機驅動轉動，所述滑塊連接在所述滾珠螺母上。

5.根據權利要求1所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，在所述頂板底部豎直設置有第一基板和第二基板，所述第一側板安裝在所述第一基板上，所述第二側板安裝在所述第二基板上。

6.根據權利要求5所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，在所述頂板上水平設置有導軌，所述第一基板和第二基板可沿所述導軌水平滑行以相互靠近或相互遠離。

7.根據權利要求6所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，所述第一基板、第二基板分別由第一氣缸、第二氣缸驅動沿所述導軌水平滑行，所述第一氣缸、第二氣缸位于所述頂板頂部。

8.根據權利要求1所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，所述第一齒片和第二齒片為直角梯形片，所述第一齒片的斜腰邊與所述第二齒片的斜腰邊相對。

9.根據權利要求1所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，在所述第一齒片及第二齒片斜腰邊的端部設置有刃部。

10.根據權利要求9所述的硅片間距轉換系統，其特征在于，所述刃部的刃角為15～40°。