[實用新型]一種雙真空室跑道型外置天線射頻離子源裝置

有效

• 申請號: 201821123071.0
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN208623968U
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 謝亞紅;顧玉明;胡純棟;謝遠來
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 安徽合肥華信知識產權代理有限公司 34112
• 代理人: 余成俊

1.一種雙真空室跑道型外置天線射頻離子源裝置，其特征在于：包括有外真空室以及密封安裝在外真空室上的射頻離子源蓋板，在外真空室內部密封安裝有跑道型罩體，跑道型罩體與外真空室之間為天線真空室，跑道型罩體內部為等離子體真空室，在等離子體真空室內部設有法拉第屏蔽筒，天線纏繞在跑道型罩體外部，通過閥門和管道將天線真空室和等離子體真空室連通，外真空室的底部通過下法蘭固定在過渡法蘭上。

2.根據權利要求1所述的一種雙真空室跑道型外置天線射頻離子源裝置，其特征在于：所述的跑道型罩體為石英罩體。

3.根據權利要求1所述的一種雙真空室跑道型外置天線射頻離子源裝置，其特征在于：所述的射頻離子源蓋板是通過氟橡膠密封圈一和M6內六角螺栓一固定在外真空室上的。

4.根據權利要求1所述的一種雙真空室跑道型外置天線射頻離子源裝置，其特征在于：所述的跑道型罩體是通過上下兩個端面的氟橡膠密封圈實二實現真空密封的。

5.根據權利要求1所述的一種雙真空室跑道型外置天線射頻離子源裝置，其特征在于：所述的下法蘭是通過氟橡膠密封圈三和M6內六角螺栓二固定到過渡法蘭上的。