[實用新型]多晶硅還原系統

有效

• 申請號: 201821118385.1
• 申請日: 2018-07-16
• 公開（公告）號: CN208413865U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 張金寶;方仕林;魯瑞堯;隋寶勛
• 申請（專利權）人: 新疆合晶能源科技有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348
• 代理人: 王偉鋒;劉鐵生

1.一種多晶硅還原系統，其特征在于，包括：

還原單元；

進氣單元，所述進氣單元包括氣化部、混合部和換熱部，所述氣化部連接于所述混合部，用于將三氯氫硅氣體通入所述混合部，所述換熱部包括換熱器和加熱器，所述換熱器的一端連接于所述混合部，用于加熱三氯氫硅和氫氣的混合氣體，另一端連接于所述還原單元，用于將所述混合氣體通入所述還原單元，所述加熱器連接于所述換熱器，用于加熱所述換熱器；

尾氣單元，所述尾氣單元包括冷卻部和回收部，所述冷卻部連接于所述還原單元，用于降低所述還原單元排出的尾氣的溫度，所述回收部連接于所述冷卻部，用于回收所述尾氣。

2.根據權利要求1所述的多晶硅還原系統，其特征在于，

所述加熱器包括供熱裝置、檢測器和調節器，所述供熱裝置連接于所述換熱器，所述檢測器設置在所述換熱器上，并且連接于所述供熱裝置，用于檢測所述換熱器的溫度，所述調節器連接于所述供熱裝置，用于調節所述供熱裝置的流量。

3.根據權利要求2所述的多晶硅還原系統，其特征在于，

所述供熱裝置為蒸汽供熱裝置。

4.根據權利要求3所述的多晶硅還原系統，其特征在于，

所述加熱器還包括回流管，所述回流管的一端連接于所述換熱器，另一端連接于所述蒸汽供熱裝置，用于將所述換熱器上的冷凝水回收至所述蒸汽供熱裝置中。

5.根據權利要求1所述的多晶硅還原系統，其特征在于，還包括：

預熱器，所述預熱器的一端連接于氫氣單元，另一端連接于所述混合部，用于加熱氫氣，并將加熱的氫氣通入所述混合部中。

6.根據權利要求1至5任一項所述的多晶硅還原系統，其特征在于，

所述換熱器為直管式換熱器。

7.根據權利要求1至5任一項所述的多晶硅還原系統，其特征在于，

所述冷卻部包括冷卻器和閃蒸罐，所述冷卻器的一端連接于所述還原單元，用于收集所述還原單元排出的尾氣，另一端連接于所述回收部，用于將所述尾氣通入所述回收部，所述閃蒸罐連接于所述冷卻器，用于置換所述冷卻器內的尾氣的溫度。

8.根據權利要求7所述的多晶硅還原系統，其特征在于，還包括：

精餾單元，所述精餾單元連接于所述閃蒸罐，用于接收所述閃蒸罐提供的蒸汽。