[實用新型]一種微觀和宏觀復合檢查機

有效

• 申請號: 201821112337.1
• 申請日: 2018-07-13
• 公開（公告）號: CN208537447U
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發明（設計）人: 劉磊;樸成秀;權永春;王劉洋
• 申請（專利權）人: 江蘇東旭億泰智能裝備有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/84;G01N21/01
• 代理公司: 北京連和連知識產權代理有限公司 11278
• 代理人: 劉小峰

1.一種微觀和宏觀復合檢查機，其特征在于，包括設備基臺，微觀檢查裝置和宏觀檢查裝置，其中，

所述設備基臺上設置有使被檢測物懸浮在所述設備基臺上方的氣浮孔；

所述微觀檢查裝置包括檢查設備和帶動所述檢查設備移動的移動機構，所述檢查設備可在所述設備基臺上方移動，對被檢測物進行微觀檢查；

所述宏觀檢查裝置包括旋轉機構和固定所述被檢測物的檢查支架，所述檢查支架通過旋轉機構可旋轉地固定在所述設備基臺的一側或端部。

2.根據權利要求1所述的檢查機，其特征在于，所述檢查支架包括連接桿和兩個夾爪插臂，兩個所述夾爪插臂分別呈角度地連接至所述連接桿的兩端，所述連接桿連接所述旋轉機構，所述夾爪插臂上設置有用于夾住所述被檢測物端部的夾爪。

3.根據權利要求2所述的檢查機，其特征在于，所述設備基臺還包括吸盤插臂，所述吸盤插臂連接在所述連接桿的中部，所述吸盤插臂上設置有用于吸附所述被檢測物底面的吸盤。

4.根據權利要求3所述的檢查機，其特征在于，所述設備基臺上設置有與所述吸盤插臂相對應的插槽，所述吸盤插臂可插入所述插槽內。

5.根據權利要求3所述的檢查機，其特征在于，所述吸盤插臂和所述夾爪插臂均垂直于所述連接桿。

6.根據權利要求2所述的檢查機，其特征在于，所述旋轉機構包括與所述連接桿平行設置的旋轉軸、帶動所述旋轉軸旋轉的旋轉驅動機構和固定機構，所述旋轉軸可旋轉地安置在所述固定機構上，并且，所述旋轉軸與所述連接桿固定連接。

7.根據權利要求1所述的檢查機，其特征在于，所述設備基臺還包括豎向設置的頂升孔、頂升柱和頂升驅動機構，所述頂升孔設置在所述設備基臺上，所述頂升驅動機構帶動所述頂升柱在所述頂升孔內上下位移，使所述頂升柱的頂端高于或低于所述設備基臺的上表面。

8.根據權利要求7所述的檢查機，其特征在于，所述頂升柱為多個，且在同一平面內同步進行上下移動。

9.根據權利要求1所述的檢查機，其特征在于，所述移動機構包括X軸移動機構和Y軸移動機構，所述檢查設備可滑動地安置在所述Y軸移動機構上，所述Y軸移動機構可滑動的安置在所述X軸移動機構上。

10.根據權利要求1所述的檢查機，其特征在于，還包括分別連接所述檢查設備的信息存儲設備和顯示終端，所述信息存儲設備用于存儲所述檢查設備的檢查結果，所述顯示終端用于顯示所述檢查設備的檢查結果。