[實(shí)用新型]切割研磨機(jī)用的內(nèi)循環(huán)液封式真空泵

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821102163.0
• 申請(qǐng)日: 2018-07-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208564973U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳守全
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 圣世機(jī)器股份有限公司
• 主分類號(hào): F04C19/00
• 分類號(hào): F04C19/00;F04C25/02;F04C29/04
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 王立民;張應(yīng)

本實(shí)用新型提供一種切割研磨機(jī)用的內(nèi)循環(huán)液封式真空泵，包含有一泵系統(tǒng)以及一鏈接于該泵系統(tǒng)的冷卻系統(tǒng)。該泵系統(tǒng)包含有一機(jī)組框架、一設(shè)置于該機(jī)組框架內(nèi)部的液封式真空泵。該冷卻系統(tǒng)設(shè)置于該機(jī)組框架內(nèi)部，該冷卻系統(tǒng)包含有連接于該液封式真空泵并由冷卻盤(pán)管控制水溫的冰水槽以及連接于板式冷凝器并由電控箱帶動(dòng)作動(dòng)的壓縮機(jī)，該液封式真空泵內(nèi)的水溫可由該冷卻系統(tǒng)控制，并使其維持在一范圍內(nèi)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型有關(guān)于一種針對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的切割研磨機(jī)所使用的冷卻系統(tǒng)，尤指一種利用冷卻系統(tǒng)結(jié)合冰水槽與真空泵合成一體的切割研磨機(jī)用的內(nèi)循環(huán)液封式真空泵。

背景技術(shù)

由于臺(tái)灣是世界排名第十八位的缺水地區(qū)。在一般人的印象里，臺(tái)灣平均每年有二千多毫米的雨量，應(yīng)該是水資源不虞匱乏的地區(qū)；但是因?yàn)榕_(tái)灣地狹人稠、山坡陡峭、雨勢(shì)集中，再加上河川短促，所以大部分的雨水都迅速地流入海洋。因此，臺(tái)灣每人每年平均可以分配到的水量，只有全世界平均雨量的七分之一而已，換算成每人每年可用水量大約只有一千公噸(1,000立方公尺)，以目前世界可用水量的標(biāo)準(zhǔn)來(lái)說(shuō)，臺(tái)灣屬于缺水地區(qū)。

請(qǐng)一起參閱圖1，鑒于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的切割研磨機(jī)所使用的液封式真空泵A利用液體B當(dāng)作活塞，其中衍生出種種效率問(wèn)題、水資源問(wèn)題以及場(chǎng)地問(wèn)題，如葉輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，液體B被拋向外圍形成移動(dòng)的液封環(huán)，液封環(huán)內(nèi)部中空，因?yàn)槿~輪C相對(duì)于機(jī)體D是偏心運(yùn)轉(zhuǎn)，因此葉輪C轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，在吸氣口E位置逐漸離開(kāi)液封環(huán)，兩葉片間空間逐漸增大而吸入氣體，當(dāng)葉輪C轉(zhuǎn)到排氣口F位置時(shí)，再度進(jìn)入液封環(huán)，兩葉片間空氣逐漸縮小，壓縮氣體并由排氣口F排出，如此周而復(fù)始；過(guò)程中液體受到擠壓產(chǎn)生溫升而影響效率，持續(xù)排出溫水卻進(jìn)而造成水資源浪費(fèi)，利用恒溫水槽、冰水機(jī)組或冷卻水塔以冷卻并回收利用，但受到一定的場(chǎng)地條件限制以及額外用電經(jīng)費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有冷卻系統(tǒng)的液封式真空泵，以控制液體的溫度范圍。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型提供一種切割研磨機(jī)用的內(nèi)循環(huán)液封式真空泵，包含有一泵系統(tǒng)、以及鏈接于該泵系統(tǒng)的一冷卻系統(tǒng)。該泵系統(tǒng)包含有一機(jī)組框架、一設(shè)置于該機(jī)組框架內(nèi)部的液封式真空泵。該冷卻系統(tǒng)，設(shè)置于該機(jī)組框架內(nèi)部，該冷卻系統(tǒng)包含有一連接于該液封式真空泵并由冷卻盤(pán)管控制水溫的冰水槽、以及一連接于板式冷凝器并由電控箱帶動(dòng)作動(dòng)的壓縮機(jī)，該液封式真空泵內(nèi)的水溫可由該冷卻系統(tǒng)控制，并使其維持在一范圍內(nèi)。

進(jìn)一步地，該機(jī)組框架底下設(shè)有四只車輪，頂部設(shè)有吊環(huán)。

進(jìn)一步地，該電控箱上設(shè)有一控制面板及室溫感溫棒，側(cè)方設(shè)有一電源孔，頂部設(shè)有一電控箱蓋。

進(jìn)一步地，該板式冷凝器旁設(shè)有排風(fēng)散熱口。

進(jìn)一步地，該冰水槽旁設(shè)有通風(fēng)口，一側(cè)設(shè)有排水口連結(jié)水槽排水口，一側(cè)設(shè)有液位計(jì)連結(jié)該冰水槽，一側(cè)設(shè)有補(bǔ)水口及水槽溢流口。

進(jìn)一步地，該液封式真空泵旁設(shè)有真空吸入口，一側(cè)設(shè)有冷卻水入水口及冷卻水出水口連結(jié)該板式冷凝器。

進(jìn)一步地，該冰水槽內(nèi)設(shè)有該冷卻系統(tǒng)的冷卻盤(pán)管。

因此，本實(shí)用新型的若干實(shí)施例與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下的有益技術(shù)效果：

1.本實(shí)用新型提供一種由冷卻系統(tǒng)控制液封式真空泵的液體溫度。

2.本實(shí)用新型可將液封式真空泵與冷卻系統(tǒng)合并自成一體，以提高其機(jī)動(dòng)性，改善場(chǎng)地限制的不便。

3.本實(shí)用新型可由冷卻系統(tǒng)回收水冷卻再利用，以達(dá)到節(jié)約水資源的目的。

附圖說(shuō)明

圖1，為本實(shí)用新型切割研磨機(jī)用的內(nèi)循環(huán)液封式真空泵的現(xiàn)有技術(shù)示意圖；

圖2，為本實(shí)用新型切割研磨機(jī)用的內(nèi)循環(huán)液封式真空泵的外觀示意圖；