[實用新型]一種新型獨立式檢選機

有效

• 申請號: 201821098539.5
• 申請日: 2018-07-12
• 公開（公告）號: CN208385367U
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 朱紅偉;張慧;王麗;蔡道庫
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種新型獨立式檢選機，包括檢選機本體，所述檢選機本體的表面設置有透氣框，所述透氣框固定在檢選機本體的表面，所述透氣框的內部開設有移桿槽，所述移桿槽的內部設置有移動桿，所述移動桿的兩端均安裝在移桿槽的內部，所述移動桿的表面開設有限位槽，所述限位槽的內部設置有限位桿；采用透氣框、移動桿、限位槽和限位桿，移動桿通過移動使限位桿的兩端在限位槽內部移動，同時移動桿的兩端在移桿槽內部移動，增加透氣框開合的便捷性，降低工人維護檢選機的時間，提高檢選機維護的便捷性，增加檢選機工作的效率，采用限位塊、定位槽、磁鐵、固定槽、定位桿和定位塊，限位塊通過磁鐵吸附在固定槽的內部。

技術領域

本實用新型屬于晶圓檢選設備技術領域，具體涉及一種新型獨立式檢選機。

背景技術

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之IC產品，晶圓檢選機對8英寸和12英寸的晶圓進行篩分。現有的晶圓檢選機在使用過過程中，檢選機內部透氣設備維護難度大，同時維護人員觀察部件損壞情況耗費時間，增加檢選機維護時間，降低晶圓檢選機有效的工作時間，增加晶圓生產周期，提高晶圓生產成本的問題，為此我們提出一種新型獨立式檢選機。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型獨立式檢選機，以解決上述背景技術中提出的晶圓檢選機在使用過過程中，檢選機內部透氣設備維護難度大，同時維護人員觀察部件損壞情況耗費時間，增加檢選機維護時間，降低晶圓檢選機有效的工作時間，增加晶圓生產周期，提高晶圓生產成本的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型獨立式檢選機，包括檢選機本體，所述檢選機本體的表面設置有透氣框，所述透氣框固定在檢選機本體的表面，所述透氣框的內部開設有移桿槽，所述移桿槽的內部設置有移動桿，所述移動桿的兩端均安裝在移桿槽的內部，所述移動桿的表面開設有限位槽，所述限位槽的內部設置有限位桿。

優選的，所述限位桿為環形結構，所述限位桿的兩端均固定在限位槽的內部，且所述限位桿兩端的限位槽分別位于兩根移動桿的表面。

優選的，所述移動桿的表面設置有拉桿，所述拉桿的一端固定在移動桿的表面，所述拉桿的一側設置有限位塊，所述限位塊的一端固定在移動桿的表面，所述限位塊的表面開設有定位槽，所述限位塊的內部鑲嵌設置有磁鐵。

優選的，所述透氣框上端的內部設置有固定槽，所述固定槽的內部設置有定位桿，所述定位桿的一端鑲嵌在固定槽的內部，所述定位桿的另一端設置有定位塊，所述定位塊的一端固定在定位桿的一端，所述定位塊的另一端貫穿固定槽的表面。

優選的，所述限位塊和固定槽均為工字形結構，且所述限位塊通過定位槽、磁鐵、定位桿和定位塊固定在固定槽的內部。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：采用透氣框、移動桿、限位槽和限位桿，移動桿通過移動使限位桿的兩端在限位槽內部移動，同時移動桿的兩端在移桿槽內部移動，增加透氣框開合的便捷性，降低工人維護檢選機的時間，提高檢選機維護的便捷性，增加檢選機工作的效率，采用限位塊、定位槽、磁鐵、固定槽、定位桿和定位塊，限位塊通過磁鐵吸附在固定槽的內部，同時定位桿通過外表面的彈簧使定位塊鑲嵌在定位槽的內部，增加限位塊固定在固定槽內部的牢靠性，提高透氣框閉合的穩定性。

附圖說明

圖1為本實用新型的檢選機本體側視結構示意圖；

圖2為本實用新型的檢選機本體主視結構示意圖；

圖3為本實用新型的透氣框閉合結構示意圖；

圖4為本實用新型的透氣框打開結構示意圖；

圖5為本實用新型的移動桿、限位槽和限位桿放大結構示意圖；