[實用新型]InSb薄膜轉移裝置

有效

• 申請號: 201821096124.4
• 申請日: 2018-07-11
• 公開（公告）號: CN208596663U
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 陳意橋;馬棟梁
• 申請（專利權）人: 蘇州焜原光電有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 昆山中際國創知識產權代理有限公司 32311
• 代理人: 盛建德

1.一種InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：包括依次連接的進樣反轉室、薄膜轉移室以及伸縮壓力裝置；所述薄膜轉移室內設有光學載臺、位于所述光學載臺之上的石英壓塊和驅動所述石英壓塊下壓的第一氣缸；所述進樣反轉室包括能夠伸入所述薄膜轉移室的傳送桿、驅動所述傳送桿的反轉驅動電機、位于所述傳送桿的內側末端的受體吸附臺以及可往所述薄膜轉移室開啟的隔離閥，所述受體吸附臺用來將受體送上光學載臺；所述伸縮壓力裝置包括水平的伸縮桿以及設于所述伸縮桿的末端的壓力滾輪，所述壓力滾輪用來將薄膜在受體上抹平。

2.根據權利要求1所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述進樣反轉室上設有第一抽真空口。

3.根據權利要求1所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述薄膜轉移室上設有第二抽真空口。

4.根據權利要求1所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述薄膜轉移室內設有用來調整所述光學載臺高度的第二氣缸。

5.根據權利要求4所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述第一氣缸和第二氣缸上均設有壓力傳感器。

6.根據權利要求1所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述石英壓塊通過連接關節設置于第一氣缸的主軸上。

7.根據權利要求1所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述伸縮桿上設有用來調節所述壓力滾輪高度的第三氣缸。

8.根據權利要求1所述的InSb薄膜轉移裝置，其特征在于：所述光學載臺內設有S型回轉的加熱絲以及位于所述光學載臺中央的熱電偶。