[實用新型]玻璃基板表面粉塵的清理控制系統

有效

• 申請號: 201821094809.5
• 申請日: 2018-07-09
• 公開（公告）號: CN208662068U
• 公開（公告）日: 2019-03-29
• 發明（設計）人: 郭向陽;郭鋒;劉文泰;魏德皇
• 申請（專利權）人: 蕪湖東旭光電裝備技術有限公司;東旭光電科技股份有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: B08B11/04
• 分類號: B08B11/04;B08B5/02;B08B13/00;G01N15/06
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 董琳;耿超

1.一種玻璃基板表面粉塵的清理控制系統，其特征在于，該系統包括：

粉塵檢測模塊，用于檢測玻璃基板表面的粉塵濃度，并將所述粉塵濃度輸出至控制模塊；

除塵模塊，用于清除所述玻璃基板表面的粉塵；

第一開關，與所述除塵模塊連接，用于控制所述除塵模塊的開啟或關閉；以及

控制模塊，分別與所述粉塵檢測模塊和所述第一開關連接，用于在接收到的所述粉塵檢測模塊輸出的粉塵濃度超過閾值時，控制所述第一開關閉合，以使所述除塵模塊執行除塵操作；

其中，所述粉塵檢測模塊包括線偏振光粉塵檢測裝置。

2.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述線偏振光粉塵檢測裝置包括線偏振光發生器、檢偏器和圖像采集器；所述線偏振光發生器與所述圖像采集器分別傾斜地與所述玻璃基板間隔設置，且所述線偏振光發生器、所述玻璃基板表面與所述圖像采集器的位置滿足反射定律；所述檢偏器設置于所述玻璃基板表面與所述圖像采集器之間的光路上；所述圖像采集器與所述控制模塊連接，用于采集所述檢偏器輸出的光信息并轉化為所述粉塵濃度信息。

3.根據權利要求2所述的系統，其特征在于，所述線偏振光發生器包括線偏振光源；或者，所述線偏振光發生器包括非線偏振光源和起偏器，所述起偏器設置于所述非線偏振光源與所述玻璃基板表面之間的光路上。

4.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述除塵模塊包括氣流除塵裝置，所述系統還包括第一閥門，所述第一閥門的出風口與所述氣流除塵裝置的進風口連接，所述第一閥門與所述控制模塊連接，用于控制所述第一閥門的開度。

5.根據權利要求4所述的系統，其特征在于，所述氣流除塵裝置的進風口和出風口處分別設置有第一過濾器和第二過濾器。

6.根據權利要求1所述的系統，其特征在于，所述除塵模塊包括風機和吹氣管，所述吹氣管的管口朝向所述玻璃基板的表面。

7.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述吹氣管的管口形成為與所述玻璃基板表面平行的扁平口。

8.根據權利要求7所述的系統，其特征在于，所述吹氣管的管口寬度與所述玻璃基板的寬度相當。

9.根據權利要求6所述的系統，其特征在于，所述系統還包括用于安裝所述吹氣管的支架以及可滑動地安裝該支架的滑軌，所述滑軌沿所述玻璃基板傳送方向布置，所述系統還包括用于驅動所述支架沿所述滑軌往復移動的驅動裝置。

10.根據權利要求1～9中任一項所述的系統，其特征在于，該系統還包括：

報警裝置，與所述控制模塊電連接，用于在所述粉塵濃度超過閾值時進行報警。