[實(shí)用新型]一種具有光學(xué)檢測功能的智能獨(dú)立式檢選機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821086749.2
• 申請日: 2018-07-10
• 公開（公告）號: CN208574956U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賈紅星;朱威莉;李鋒;王麗
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/342
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種具有光學(xué)檢測功能的智能獨(dú)立式檢選機(jī)，包括外殼，所述外殼內(nèi)壁兩側(cè)分別設(shè)置有固定板，所述固定板上表面固定有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上表面設(shè)置有滑塊，所述滑塊頂端固定有安裝板，所述安裝板上表面設(shè)置有卡塊，所述安裝板與外殼通過電動推桿連接，所述卡塊底端設(shè)置有檢測孔，所述安裝板上表面一側(cè)固定有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端固定有聯(lián)軸器；本實(shí)用新型通過第一固定桿、第二固定桿、記憶彈簧和卡塊的設(shè)置，使其利用記憶彈簧的特性，可以使不同規(guī)格的晶圓放置到卡塊內(nèi)時(shí)，通過記憶彈簧的彈力，兩邊卡塊同時(shí)向中間靠攏，使其固定住晶圓，同時(shí)由于兩邊彈力相同，從而還不會出現(xiàn)偏離中心，增大檢測結(jié)果，提高檢測效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于光學(xué)檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有光學(xué)檢測功能的智能獨(dú)立式檢選機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓,多指單晶硅圓片,由普通硅沙拉制提煉而成,是最常用的半導(dǎo)體材料,按其直徑分為4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等規(guī)格,近來發(fā)展出12英寸甚至更大規(guī)格.晶圓越大,同一圓片上可生產(chǎn)的IC就多,可降低成本;但要求材料技術(shù)和生產(chǎn)技術(shù)更高，隨著晶圓的要求越來越高，從而需要對其進(jìn)行光學(xué)分析和檢測，從而篩選出符合要求的晶圓，光學(xué)檢測機(jī)是基于光學(xué)原理來對晶圓生產(chǎn)中遇到的常見缺陷進(jìn)行檢測的設(shè)備。

現(xiàn)有的光學(xué)檢測晶圓在使用時(shí)仍然存在一些不足之處：現(xiàn)有的光學(xué)檢測儀在對晶圓檢測時(shí)，由于晶圓的規(guī)格不同，所以現(xiàn)有的對其需要使用不同的固定裝置進(jìn)行固定，使其更換麻煩，成本提高，現(xiàn)有的對晶圓進(jìn)行光學(xué)分析的時(shí)候，需要兩面分析，使其一面分析后還需要人工將其換面，使其檢測效率低，效果不準(zhǔn)確，現(xiàn)有的光學(xué)檢測儀進(jìn)行檢測時(shí)，使用傳送帶進(jìn)行傳送，從而無法保證傳送精度，使其檢測存在誤差。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種具有光學(xué)檢測功能的智能獨(dú)立式檢選機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種具有光學(xué)檢測功能的智能獨(dú)立式檢選機(jī)，包括外殼，所述外殼內(nèi)壁兩側(cè)分別設(shè)置有固定板，所述固定板上表面固定有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上表面設(shè)置有滑塊，所述滑塊頂端固定有安裝板，所述安裝板上表面設(shè)置有卡塊，所述安裝板與外殼通過電動推桿連接，所述卡塊底端設(shè)置有檢測孔，所述安裝板上表面一側(cè)固定有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端固定有聯(lián)軸器，所述聯(lián)軸器另一端固定有連接桿，所述連接桿另一端固定有第二固定桿，所述第二固定桿上設(shè)置有凹槽，所述凹槽內(nèi)部設(shè)置有記憶彈簧，所述記憶彈簧通過固定連接與第一固定桿連接，所述第一固定桿另一端固定有卡塊。

優(yōu)選的，所述安裝板上表面另一側(cè)固定有支撐架，所述支撐架上設(shè)置有軸承，所述聯(lián)軸器通過固定連接與從動桿連接，所述從動桿一端穿過支撐架上的軸承與緊固螺母通過固定連接。

優(yōu)選的，所述卡塊內(nèi)壁固定有海綿墊，所述外殼的前端面設(shè)置有柜門。

優(yōu)選的，所述外殼底端四個(gè)拐角處分別固定有支撐柱，所述支撐柱底端設(shè)置有調(diào)節(jié)桿，所述調(diào)節(jié)桿外壁設(shè)置有調(diào)節(jié)螺母。

優(yōu)選的，所述調(diào)節(jié)桿一端固定有固定座，所述固定座底端固定有橡膠防滑墊。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：通過第一固定桿、第二固定桿、記憶彈簧和卡塊的設(shè)置，使其利用記憶彈簧的特性，可以使不同規(guī)格的晶圓放置到卡塊內(nèi)時(shí)，通過記憶彈簧的彈力，兩邊卡塊同時(shí)向中間靠攏，使其固定住晶圓，同時(shí)由于兩邊彈力相同，從而還不會出現(xiàn)偏離中心，增大檢測結(jié)果，提高檢測效率，通過伺服電機(jī)的設(shè)置，可以使本實(shí)用新型進(jìn)行換面檢測時(shí)，不需要人工操作，便可直接進(jìn)行反轉(zhuǎn)，使其工作效率提高，同時(shí)還不會有外界物質(zhì)在翻面時(shí)粘在晶圓面上使其檢測出現(xiàn)誤差，通過電動推桿、滑塊和導(dǎo)軌的設(shè)置，使本實(shí)用新型在進(jìn)行傳送時(shí)，更加穩(wěn)定，定位更加精準(zhǔn)，通過調(diào)節(jié)桿和調(diào)節(jié)螺母的設(shè)置，可以使本實(shí)用新型在坑洼地帶也能通過調(diào)節(jié)使其達(dá)到水平狀態(tài)，通過海綿墊的設(shè)置，起到保護(hù)晶圓的作用，防止晶圓受到卡塊的損壞，通過防滑橡膠墊的設(shè)置，增大本實(shí)用新型與地面的摩擦力，增加安全性。

附圖說明