[實(shí)用新型]半導(dǎo)體基板加載載具完全連線式上料機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821079575.7
• 申請(qǐng)日: 2018-07-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208580725U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙凱;黃軍鵬;邵嘉裕;蘇浩杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海世禹精密機(jī)械有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/677
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/677;H01L21/673;H01L21/683
• 代理公司: 上海遠(yuǎn)同律師事務(wù)所 31307
• 代理人: 張堅(jiān)

一種半導(dǎo)體基板加載載具進(jìn)料連線式上料機(jī)，包括：用于水平輸送底板的第一輸送帶，所述第一輸送帶上具有加載位；用于水平輸送基板的第二輸送帶，所述第二輸送帶上具有基板供料位；用于將底板送至所述第一輸送帶上的底板上料機(jī)構(gòu)；用于將來(lái)自上游生產(chǎn)線的基板水平輸送給所述第二輸送帶的基板連線輸送帶；用于在蓋板供料位將蓋板供料給取放機(jī)構(gòu)的蓋板上料機(jī)構(gòu)；用于從所述基板供料位以及蓋板供料位分別取得基板以及蓋板并依次將基板以及蓋板放置于處于所述加載位的底板上以使三者形成一體件的取放機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型能夠?qū)?lái)自上游生產(chǎn)線的半導(dǎo)體基板加載到載具上，形成可保持基板平整的一體件，一體件加工完成后上料給下游生產(chǎn)線。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體基板加載載具完全連線式上料機(jī)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體后段封裝工藝中，在進(jìn)行倒裝焊鍵合、加熱清洗等工藝加工時(shí)，對(duì)基板的平整度有嚴(yán)格的要求和限制，因基板本身翹曲的特性，決定了必須加持外界的機(jī)構(gòu)來(lái)幫助基板來(lái)實(shí)現(xiàn)平整。

傳統(tǒng)的解決辦法是對(duì)各個(gè)工藝設(shè)備皆有基板平整機(jī)構(gòu)，且對(duì)于不同工藝，其平整機(jī)構(gòu)不一致，從而增加了各個(gè)工藝設(shè)備的難度，也不利于上下游工藝的流暢性。

故需要一種半導(dǎo)體基板加載載具完全連線式上料機(jī)，能夠?qū)?lái)自上游生產(chǎn)線的半導(dǎo)體基板加載到載具上，形成可保持基板平整的一體件，并將一體件輸送給工藝加工設(shè)備進(jìn)行加工，進(jìn)而將加工完成后的一體件輸送給下游生產(chǎn)線，完成上料，提高上下游工藝的流暢性。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于此，針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，提供一種半導(dǎo)體基板加載載具完全連線式上料機(jī)。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

用于水平輸送底板的第一輸送帶，所述第一輸送帶上具有加載位，且該第一輸送帶與工藝加工設(shè)備連接；

用于水平輸送基板的第二輸送帶，所述第二輸送帶上具有基板供料位；

用于將底板送至所述第一輸送帶上的底板上料機(jī)構(gòu)；

用于將來(lái)自上游生產(chǎn)線的基板水平輸送給所述第二輸送帶的第一連線輸送帶，所述第一連線輸送帶的后端與所述上游生產(chǎn)線連接，前端與所述第二輸送帶的后端連接,且該第一連線輸送帶從上方經(jīng)過(guò)所述底板上料機(jī)構(gòu)；

用于在蓋板供料位將蓋板供料給取放機(jī)構(gòu)的蓋板上料機(jī)構(gòu),所述加載位、基板供料位以及蓋板供料位沿左右方向依次布置于同一直線上；

用于從所述基板供料位以及蓋板供料位分別取得基板以及蓋板并依次將基板以及蓋板放置于處于所述加載位的底板上以使三者形成一體件的取放機(jī)構(gòu)；

可左右水平調(diào)整位置依次對(duì)接所述工藝加工設(shè)備以及下游生產(chǎn)線以將來(lái)自該工藝加工設(shè)備的一體件水平輸送給下游生產(chǎn)線的第二連線輸送帶，所述第二連線輸送帶固定于一左右水平調(diào)整機(jī)構(gòu)上。

所述底板上料機(jī)構(gòu)包括：

用于水平輸送載料的料盒的送盒帶，所述送盒帶與所述第一輸送帶呈90度布置，其前端具有彈性止擋部；

用于水平輸送空料盒的收盒帶，所述收盒帶與送盒帶上下間隔布置且輸送方向相反；

可在推料位與所述送盒帶前端或者收盒帶后端之間水平移動(dòng)、可在推料位上下移動(dòng)的料盒夾爪，所述推料位在后側(cè)與所述第一輸送帶的后端相鄰，且位于送盒帶前端的前側(cè)；

用于在所述料盒夾爪帶動(dòng)料盒向上移動(dòng)過(guò)程中依次將料盒中的板料水平推至所述第一輸送帶后端的推料桿。

所述第一輸送帶以及第二輸送帶均由左右間隔布置于支架上的兩條輸送皮帶構(gòu)成，該第一輸送帶的加載位以及第二輸送帶的基板供料位分別設(shè)有真空固定機(jī)構(gòu)，所述真空固定機(jī)構(gòu)包括：