[實用新型]一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計有效
| 申請號： | 201821079520.6 | 申請日： | 2018-07-09 |
| 公開（公告）號： | CN208653683U | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發明（設計）人： | 楊先輝;李擁軍;劉萍;蔡軍;雷鵬;程曉東;文宏武;吳志力;唐亮;張洪亮;張運科;王鵬 | 申請（專利權）人： | 中國石油集團渤海鉆探工程有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/24 | 分類號： | G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211 | 代理人： | 劉瑩 |
| 地址： | 300457 天津市濱*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓力計 玻璃反射板 超高壓 反射板 光纖 波長 本實用新型 導入光纖 陽極鍵合 傳感頭 光學干涉 壓力測量 安裝槽 反射面 耐壓 | ||
1.一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：包括壓力計本體(1)和耐壓基體(2)；所述壓力計本體(1)包括傳感頭和導入光纖(11)，所述傳感頭包括硅反射板(12)和玻璃反射板(13)，所述硅反射板(12)與玻璃反射板(13)通過陽極鍵合連接；硅反射板(12)與玻璃反射板(13)相接觸面設置光纖F-P腔(14)；所述玻璃反射板(13)與硅反射板(12)相對一側設置導入光纖安裝槽(15)；
所述耐壓基體(2)設置為圓柱形，所述耐壓基體(2)外緣設置內凹的測壓腔(21)，所述測壓腔(21)內設置壓力計本體(1)，所述測壓腔(21)由壓力蓋板(3)封裝；所述耐壓基體(2)上設置外界與測壓腔(21)相聯通的導入光纖穿孔(22)；所述導入光纖(11)一端從導入光纖穿孔(22)穿入插入導入光纖安裝槽(15)內。
2.根據權利要求1所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述耐壓基體(2)兩端部分別設置環形凸起(24)，通過環形凸起(24)與轉換端接(4)焊接固定。
3.根據權利要求2所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述耐壓基體(2)軸向設置貫穿的傳輸光纖穿孔(23)，所述傳輸光纖穿孔(23)與轉換端接(4)通孔相連通。
4.根據權利要求3所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述傳輸光纖穿孔(23)設置于耐壓基體(2)軸中心線遠離測壓腔(21)一側。
5.根據權利要求4所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述導入光纖穿孔(22)與傳輸光纖穿孔(23)相平行。
6.根據權利要求1所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述耐壓基體(2)設置為316L材質，外表層鍍金。
7.根據權利要求6所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述壓力蓋板(3)設置為半圓弧型，所述耐壓基體(2)與壓力蓋板(3)采用激光填料點焊接。
8.根據權利要求1所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述壓力計本體(1)與測壓腔(21)底內壁高溫膠固定連接。
9.根據權利要求1所述的一種超高壓波長型MEMS光纖F-P壓力計，其特征在于：所述導入光纖(11)為單膜9/125um光纖。
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