[實用新型]一種廢硫酸回收裝置

有效

• 申請號: 201821079519.3
• 申請日: 2018-07-09
• 公開（公告）號: CN208898509U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 李科
• 申請（專利權）人: 陜西高科環?？萍加邢薰?/a>
• 主分類號: C01B17/90
• 分類號: C01B17/90
• 代理公司: 西安科果果知識產權代理事務所(普通合伙) 61233
• 代理人: 牛芬潔

本實用新型公開了一種用于對半導體行業產生的廢硫酸進行回收的廢硫酸回收裝置及其回收方法，屬于廢硫酸回收技術領域。所述廢硫酸回收裝置包括用于對硫酸中的雜質進行過濾的過濾器，所述過濾器通過管道依次連接有用于去除氯氣的一級反應釜和用于去除雙氧水的二級反應釜，通過一級反應釜和二級反應釜能夠將半導體行業產生的廢硫酸中的雙氧水和氯氣去除，使得處理后的廢硫酸達到電子級硫酸的標準，能夠回收利用。本實用新型所述廢硫酸回收裝置結構簡單且回收方法簡單易行回收效率高。

技術領域

本實用新型涉及廢硫酸回收技術領域，尤其涉及一種用于對半導體行業產生的廢硫酸進行回收的廢硫酸回收裝置。

背景技術

為了剝離液晶片表面上的有機物，采用大量硫酸與雙氧水、氯氣混合制備的清洗劑，清洗后的硫酸含有雙氧水、氯離子、及雜質，不能回收利用，且由于硫酸本身是強氧化性，并且無害化處置會產生大量二氧化硫他是大氣中的主要污染物，對環節和人體健康有很大的危害，同時也是產生酸雨的主要原因。隨著經濟的高速發展，我國二氧化硫的排放量已經已居世界首位，各地都不同程度地出現酸雨，成為繼歐洲、北美之后的酸雨重污染區。半導體行業產生的廢硫酸量又比較大從環保、經濟等方面考慮我們著手于此廢硫酸的回收利用技術，為企業減輕處置壓力和處置費用。

發明內容

為了解決現有技術中存在的問題，本實用新型提供了一種廢硫酸回收裝置及其回收方法，能夠對半導體行業產生的廢硫酸進行回收利用。

為了達到上述目的，本實用新型采取的技術方案如下：

一種廢硫酸回收裝置，包括用于對廢硫酸中的雜質進行過濾的過濾器，所述過濾器通過管道依次連接有用于去除氯氣的一級反應釜和用于去除雙氧水的二級反應釜。

進一步地，所述過濾器上設有第一進料口和第一出料口，所述第一進料口位于過濾器的頂部且與廢硫酸管道連接，所述第一出料口位于過濾器的底部且通過第一連接管道與一級反應釜連通；所述過濾器的內部填充有濾料，所述濾料的頂部和底部均設有過濾篩網，所述過濾篩網位于第一進料口的下方且與過濾器可拆卸連接。

進一步地，所述濾料采用聚乙烯高效纖維制備而成的濾料，所述濾料的直徑均大于過濾篩網的孔徑，所述濾芯與頂部的過濾篩網之間留有用于反沖洗的活動間隙。

進一步地，所述過濾器還包括反沖洗裝置，所述反沖洗裝置包括設在過濾器底部的用于與清洗水管道連通的清洗水連接口和與壓縮空氣管道連通的壓縮空氣連接口，所述清洗水連接口處設有用于將清洗水打入過濾器內部的泵送裝置，所述過濾器的頂部設有排污口。

進一步地，所述一級反應釜的頂部設有第二進料口，底部設有用于與二級反應釜連通的第二出料口；所述一級反應釜內填充有吸附填料，所述吸附填料的頂部和底部設有布水板，所述布水板與一級反應釜可拆卸連接且位于第二進料口的下方；所述一級反應釜的底部設有用于對硫酸液進行加熱的加熱盤管，所述加熱盤管固定在一級反應釜的底部且位于布水板的下方；所述一級反應釜的頂部還連接有第一抽風裝置，所述第一抽風裝置連接有堿洗噴淋塔，用于對一級反應釜內分解的氯氣進行吸收。

進一步地，所述吸附填料采用多面空心球填料，所述布水板上均勻開設有多個布水孔，所述布水孔的直徑小于吸附填料的最小直徑。

進一步地，所述二級反應釜包括夾套加熱反應釜，所述二級反應釜的頂部開設有第三進料口和催化劑注入口，底部開設有第三出料口、熱源進口、冷凝水排出口和取樣口；所述熱源進口和冷凝水排出口與二級反應釜的夾套連通；所述取樣口連接有氯氣檢測裝置；所述二級反應釜的內部固定有攪拌裝置。

進一步地，所述二級反應釜的頂部還連接有第二抽風裝置，用于對二級反應釜產生的有害廢氣及加熱過程中的水蒸氣排除；所述第二抽風裝置連接有堿洗噴淋塔，用于對二級反應釜3產生的有害廢氣及加熱過程中的水蒸氣進行吸收。