[實(shí)用新型]一種光纖掃描驅(qū)動(dòng)器及光纖掃描器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821077834.2 | 申請(qǐng)日: | 2018-07-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN208805614U | 公開(公告)日: | 2019-04-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 喻秀英;姚長(zhǎng)呈;周旭東 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 成都理想境界科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | G02B26/10 | 分類號(hào): | G02B26/10 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 610041 四川省成都市高新*** | 國(guó)省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 驅(qū)動(dòng)器 方向掃描 光纖掃描器 二維掃描 方向垂直 光纖掃描 不一致 柵格式 本實(shí)用新型 驅(qū)動(dòng) 固有頻率 掃描過程 掃描頻率 壓電陶瓷 成像 掃描 | ||
本實(shí)用新型公開了一種光纖掃描驅(qū)動(dòng)器及光纖掃描器,包括:X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和與X方向垂直的Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器。同時(shí)還公開了使用該光纖掃描器驅(qū)動(dòng)器的光纖掃描器,通過X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和與X方向垂直的Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器結(jié)合,實(shí)現(xiàn)二維掃描成像,這種結(jié)構(gòu)特別適用于柵格式掃描,因?yàn)樵跂鸥袷綊呙柽^程中,X軸和Y軸掃描頻率不一致,X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器各自的壓電陶瓷設(shè)計(jì)為固有頻率不一致即可實(shí)現(xiàn)X軸和Y軸一快一慢驅(qū)動(dòng),解決現(xiàn)有二維掃描不可實(shí)現(xiàn)X軸和Y軸一快一慢驅(qū)動(dòng)的問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及光學(xué)成像領(lǐng)域,尤其涉及一種光纖掃描驅(qū)動(dòng)器及光纖掃描器。
背景技術(shù)
單光纖共振型壓電掃描器是利用光纖懸臂在正交方向上的共振特性來(lái)實(shí)現(xiàn)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)圖像掃描的新型掃描器,相比于MEMS(Micro-Electro-Mechanical System;微機(jī)電系統(tǒng))掃描器,單光纖共振型壓電掃描器的體積更小,成本更低,而且制造工藝簡(jiǎn)便,更易集成。
目前,實(shí)現(xiàn)二維掃描成像的壓電掃描器有四分電極圓管型光纖掃描器以及由四片矩形狀的壓電陶瓷組成的四方形光纖掃描器。四分電極圓管型光纖掃描器二個(gè)方向的驅(qū)動(dòng)外電極是圍繞在同一截壓電陶瓷圓管的外表面上,由于陶瓷固有頻率固定,所以在進(jìn)行螺旋掃描時(shí),xy方向振動(dòng)頻率分量幾乎一致。而若想實(shí)現(xiàn)柵格式掃描,由于xy方向需要的掃描頻率不一致,四分電極圓管型光纖掃描器無(wú)法實(shí)現(xiàn)一快軸一慢軸的振動(dòng)。而由四片矩形狀的壓電陶瓷組成的四方形光纖掃描器,為了實(shí)現(xiàn)二維掃描,四片矩形狀的壓電陶瓷必須圍繞光纖對(duì)稱設(shè)置,使得壓電陶瓷對(duì)光纖的驅(qū)動(dòng)的力的方向相互垂直,由于光纖的直徑很小,直接將四片壓電陶瓷固定在光纖的周圍在工藝上難以實(shí)現(xiàn),因此必須通過中間的連接部件將四片壓電陶瓷圍繞光纖對(duì)稱設(shè)置,從而實(shí)現(xiàn)二維掃描,連接部件的使用,使得壓電陶瓷發(fā)生彎曲變形時(shí),需要通過連接部件向光纖傳遞壓電陶瓷發(fā)生彎曲變形的力,使得壓電陶瓷的振動(dòng)形成的掃描位移不能完全有效地傳遞給光纖,形成一定損耗,從而降低了光纖的振動(dòng)幅度,增加了單光纖共振型壓電掃描器的功耗。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是提供一種光纖掃描驅(qū)動(dòng)器及光纖掃描器,提出一種全新的二維光纖掃描器結(jié)構(gòu)。
為了實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的,本實(shí)用新型提供一種光纖掃描驅(qū)動(dòng)器,包括: X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和與X方向垂直的Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器。
可選的,所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器為一體成型的;或
所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器粘接或鑲嵌固結(jié)在一起;或
所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器通過正交型轉(zhuǎn)接器連接。
可選的,所述正交型轉(zhuǎn)接器包括與所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的第一凹槽和與所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器對(duì)應(yīng)的第二凹槽。
可選的,所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器為壓電掃描驅(qū)動(dòng)器。
可選的,所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器為壓電陶瓷。
可選的,所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和所述Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器的結(jié)構(gòu)為晶片結(jié)構(gòu)。
可選的,所述晶片結(jié)構(gòu)為單晶片結(jié)構(gòu)、雙晶片結(jié)構(gòu)、堆疊型單晶片結(jié)構(gòu)或堆疊型雙晶片結(jié)構(gòu)。
本實(shí)用新型還提出一種光纖掃描器,包括光纖掃描驅(qū)動(dòng)器和光纖,其中:所述光纖掃描驅(qū)動(dòng)器為前述的光纖掃描驅(qū)動(dòng)器,所述光纖固定在所述光纖掃描驅(qū)動(dòng)器上且沿Z方向向外延伸形成光纖懸臂,所述光纖掃描驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)所述光纖懸臂在X方向和Y方向上振動(dòng)。
可選的,所述光纖采用粘接方式固定在所述X方向掃描驅(qū)動(dòng)器和/或所述 Y方向掃描驅(qū)動(dòng)器的外表面上。
可選的,在所述光纖掃描驅(qū)動(dòng)器內(nèi)部設(shè)置光纖容置孔,所述光纖穿過光纖掃描驅(qū)動(dòng)器的光纖形成懸臂
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