[實用新型]一種太陽能電池晶體硅的高效打磨裝置有效
| 申請號: | 201821074130.X | 申請日: | 2018-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN208866943U | 公開(公告)日: | 2019-05-17 |
| 發明(設計)人: | 劉宏;王春定;龔志國;姚學森;劉柏林 | 申請(專利權)人: | 天長市百盛半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | B24B27/00 | 分類號: | B24B27/00;B24B41/04;B24B41/06;B24B41/02;B24B41/00 |
| 代理公司: | 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
| 地址: | 239300 安徽省滁州市天長*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 活塞 活塞軸 安裝板 打磨 本實用新型 第二限位板 第一限位板 太陽能電池 打磨裝置 單晶硅片 上端 晶體硅 滑槽 切割 電機 安裝座 打磨輪 滑道 下端 底座 | ||
本實用新型公開了一種太陽能電池晶體硅的高效打磨裝置,底座上端安裝有第一活塞和第一活塞軸,第一活塞軸上安裝有第二活塞,第二活塞上安裝有第一安裝板,第一活塞的一側安裝有第二電機,第一安裝板上端安裝有第一電機,第一安裝板上設有第一滑槽,第一滑槽內設有可滑道的第四活塞和第四活塞軸,第四活塞軸上安裝有第五活塞和第五活塞軸,第五活塞軸上安裝有第一限位板,第一限位板上安裝有打磨輪,第二安裝板的下端安裝有第六活塞,第六活塞上安裝有第六活塞軸,第六活塞軸上安裝有第二限位板,第二限位板上通過打磨球安裝座安裝有打磨球。本實用新型能夠有效提高單晶硅片的切割和打磨效率,同時也避免了在打磨切割的過程中損壞單晶硅片。
技術領域
本發明涉及單晶硅片加工設備的技術領域,尤其涉及一種太陽能電池晶體硅的高效打磨裝置。
背景技術
近年來,中國單晶硅產量明顯穩步增長,增長的原因是一方面來自國際上對低檔和廉價硅材料需求的增加。另一方面是近年來中國裝備制造發展迅速,各類信息家電和通信產品需求旺盛,因此半導體器件和硅材料的市場需求量都很大。單晶硅片用于制造半導體器件、太陽能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成。現有的單晶硅片打磨裝置打磨效率低,打磨質量差,且打磨過程中很容易造成對單晶硅片損壞,無法滿足實際生產過程的需求。
發明內容
為解決背景技術中存在的技術問題,本發明提出一種太陽能電池晶體硅的高效打磨裝置,能夠有效提高單晶硅片的打磨和切割效率,有效提高了單晶硅片的質量。
本發明提出的一種太陽能電池晶體硅的高效打磨裝置,包括底座,所述底座上端安裝有第一活塞,所述第一活塞遠離底座的一側安裝有第一活塞軸,所述第一活塞軸遠離第一活塞的一端安裝有第二活塞,所述第二活塞遠離第一活塞軸的一側安裝有第一安裝板,所述第一活塞的一側安裝有第二電機,所述第一安裝板上端安裝有第一電機,所述第一安裝板上設有第一滑槽,所述第一滑槽內設有可滑道的第四活塞,所述第四活塞遠離第一滑槽的一側安裝有第四活塞軸,所述第四活塞軸遠離第四活塞的一側安裝有第五活塞,所述第五活塞遠離第四活塞軸的一側安裝有第五活塞軸,所述第五活塞軸遠離第五活塞的一側安裝有第一限位板,所述第一限位板遠離第五活塞軸的一側安裝有第二安裝板,所述第二安裝板上通過轉軸安裝有打磨輪,所述第二安裝板的下端安裝有第六活塞,所述第六活塞遠離第二安裝板的一側安裝有第六活塞軸,所述第六活塞軸遠離第二安裝板的一側安裝有第二限位板,所述第二限位板遠離第六活塞軸的一側通過打磨球安裝座安裝有打磨球。
進一步的,所述第一活塞和第二活塞之間且在第一活塞軸的外周套接有第一彈簧。
進一步的,所述第三活塞和限位機構之間且在第三活塞軸的外周套接有第二彈簧。
進一步的,所述第五活塞和第一限位板之間且在第五活塞軸的外周套接有第三彈簧。
進一步的,所述第六活塞和第二限位板之間且在第六活塞軸的外周套接有第四彈簧。
進一步的,所述限位機構包括第三安裝板、第二滑槽、滑輪、第四安裝板、第七活塞、第七活塞軸、限位板安裝座、限位板和第四電機,所述第三安裝板安裝在第三活塞軸上,所述第二滑槽設于第三安裝板內,所述滑輪設于第二滑槽內,所述第四安裝板安裝在滑輪上,所述第七活塞安裝在第四安裝板上,所述第七活塞軸安裝在第七活塞遠離第四安裝板的一側,所述限位板安裝座安裝在第七活塞軸遠離第七活塞的一側,所述限位板安裝在限位板安裝座上。
進一步的,所述第七活塞和限位板安裝座之間且在第七活塞軸的外周套接有第五彈簧。
與現有技術相比,本發明的技術方案具有以下有益效果:
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