[實用新型]掩膜版和掩膜組件

有效

• 申請號: 201821073334.1
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208604193U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 鄭江波;黃秀頎;陳凡;康夢華;李偉麗;葉訢
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 北京布瑞知識產權代理有限公司 11505
• 代理人: 孟潭

1.一種掩膜版，其特征在于，包括：

蒸鍍區和非蒸鍍區，所述蒸鍍區具有子蒸鍍區，每個所述子蒸鍍區具有多個蒸鍍開口；

位于所述非蒸鍍區的形變控制區，其中，所述形變控制區包括多個應力分散通孔和多個應力固化通孔，所述多個應力分散通孔和多個應力固化通孔錯位排布，以緩沖所述掩膜版的張網應力。

2.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述應力分散通孔為多邊形，所述多邊形的多個邊中，至少一個邊與所述掩膜版張網時的拉力方向不垂直且不平行。

3.根據權利要求1或2所述的掩膜版，其特征在于，所述應力分散通孔為菱形通孔。

4.根據權利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述菱形通孔的對角線在20微米到70微米以內。

5.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述應力固化通孔為圓形通孔。

6.根據權利要求5所述的掩膜版，其特征在于，所述圓形通孔的直徑在20微米到70微米以內。

7.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述錯位排布的方式為，一個所述應力分散通孔四周相鄰四個所述應力固化通孔，一個所述應力固化通孔四周相鄰四個所述應力分散通孔。

8.根據權利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述錯位排布的方式為，每列通孔為所述應力分散通孔或所述應力固化通孔，相鄰兩列通孔的形狀不同，所述列的方向與所述掩膜版張網時的拉力方向垂直。

9.根據權利要求1、2和4-8中任一項所述的掩膜版，其特征在于，進一步包括：

設置于所述蒸鍍區兩側的切割線；

設置于所述切割線朝向所述蒸鍍區的一側的焊接區。

10.根據權利要求9所述的掩膜版，其特征在于，所述形變控制區包括第一形變控制區和第二形變控制區，所述第一形變控制區設置于所述切割線遠離所述蒸鍍區的一側，所述第二形變控制區設置于相鄰的所述子蒸鍍區之間。

11.一種掩膜組件，其特征在于，包括如權利要求10所述的掩膜版、與所述掩膜版層疊設置的配合掩膜版、以及掩膜版框架，所述掩膜版與所述配合掩膜版固定于所述掩膜版框架上；

其中，所述配合掩膜版包括第一配合區，所述第一配合區與設置于相鄰的所述子蒸鍍區之間的所述第二形變控制區對應，且

所述第一配合區遮擋所述第二形變控制區的所述多個應力分散通孔和多個應力固化通孔。

12.根據權利要求11所述的掩膜組件，其特征在于，所述第一配合區包括多個第一應力分散通孔和多個第一應力固化通孔，所述多個第一應力分散通孔和多個第一應力固化通孔錯位排布，以緩沖所述配合掩膜版的張網應力。

13.根據權利要求12所述的掩膜組件，其特征在于，所述配合掩膜版還包括與所述子蒸鍍區對應的第二配合區，所述第二配合區包括第二配合通孔，所述第二配合通孔在所述掩膜版上的正投影完全覆蓋所述子蒸鍍區。