[實用新型]一種鉬管靶分層燒結裝置

有效

• 申請號: 201821070491.7
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208483223U
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 郭金洋;白洋;高建杰
• 申請（專利權）人: 洛陽高新四豐電子材料有限公司
• 主分類號: B22F3/10
• 分類號: B22F3/10;C23C14/35
• 代理公司: 鄭州知己知識產權代理有限公司 41132
• 代理人: 任海玲

本實用新型公開了一種鉬管靶分層燒結裝置，所述燒結裝置包括多層支撐平臺，每層支撐平臺包括井字形支架和托盤，所述托盤設置在井字形支架頂部，所述井字形支架由多塊熱軋鉬板拼接而成，所述托盤由熱軋鉬板制成，所述托盤表面設置條形槽，所述托盤中心位置開設透氣孔，所述井字形支架和托盤上均設置吊裝孔。

技術領域

本實用新型涉及一種燒結裝置，具體涉及一種鉬管靶分層燒結裝置。

背景技術

變光伏太陽能作為21世紀最理想的新能源，近年來發展十分迅猛，數據顯示，全球對光伏太陽能電池的需求每年40%的速度增長，鉬靶材作為配套耗材，需求量也呈現出激增。鉬靶材以鉬濺射薄膜方式被消耗，主要用作TFT柵極和太陽能電池組件的金屬堆疊層。旋轉鉬靶材主要用于太陽能光伏行業，由于其利用率高，鍍膜均勻性好，適用于大面積連續性磁控濺射生產線，管狀旋轉靶的理論利用率可達70%，大大高于平面靶20%-30%的利用率，大大降低了鍍膜生產成本，是未來靶材的發展方向。

目前，鉬管靶采用粉末冶金法，主要經過冷等靜壓、高溫燒結、機加工等工序制成。常用管靶燒結前的粉制坯尺寸為Φ192×270mm，中頻氫保護燒結爐內空間為Φ1200×2300mm。由于高溫燒結過程中管靶會發生體積收縮，且壓力較大時高溫下會發生粘連現象，不能直接疊加放置于爐內，造成不能充分利用爐內空間。若分爐燒結，由于燒結工序需3-4天，耗時較長，則氫氣、電等資源浪費嚴重，無形中增加了勞動強度，降低了作業效率，嚴重影響生產效率。

實用新型內容

為克服上述缺陷，本實用新型的目的在于提供一種鉬管靶分層燒結裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種鉬管靶分層燒結裝置，所述燒結裝置包括多層支撐平臺，每層支撐平臺包括井字形支架和托盤，所述托盤設置在井字形支架頂部，所述井字形支架由多塊熱軋鉬板拼接而成，所述托盤由熱軋鉬板制成，所述托盤表面設置條形槽，所述托盤中心位置開設透氣孔，所述井字形支架和托盤上均設置吊裝孔。

優選地，所述井字形支架由熱軋鉬板一、熱軋鉬板二和熱軋鉬板三拼接而成，所述熱軋鉬板一橫截面為L形，所述熱軋鉬板二橫截面為直線形，所述熱軋鉬板三橫截面為U形，所述熱軋鉬板一設置四塊，沿燒結爐周向均布，所述熱軋鉬板二設置兩塊，每塊熱軋鉬板二分別與其中兩塊熱軋鉬板一連接，所述熱軋鉬板三設置兩塊，每塊熱軋鉬板三均與兩塊熱軋鉬板二連接，所述拼接方式為鉚接和焊接。

優選地，所述井字形支架由四塊熱軋鉬板四拼接而成，四塊熱軋鉬板四上均設置兩條卡槽，四塊熱軋鉬板四相互卡合并通過焊接固定。

優選地，所述透氣孔內徑為30~50mm。

本實用新型的積極有益效果：

1. 本實用新型鉬管靶分層燒結裝置，不使用時可以通過吊裝孔由吊裝工具吊出燒結爐，不影響其它產品在燒結爐內燒結，使用方便，而且能夠根據燒結爐內空間及鉬管靶尺寸規格，靈活選擇燒結爐內支撐平臺層數，即鉬管靶放置層數，大大提高了爐內空間利用率，節約資源，提高生產效率。

2. 本實用新型熱軋鉬板熔點高，耐高溫，適合鉬管靶的燒結使用，托盤上設置條形槽和透氣孔，同時托盤邊緣與燒結爐內壁也形成間隙，便于燒結爐內氫氣流通，燒結均勻快速，所得鉬管靶表面質量良好，可達到99%理論密度，且晶粒細小。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例1鉬管靶分層燒結裝置的俯視結構示意圖；

圖2為本實用新型托盤結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例2鉬管靶分層燒結裝置的俯視結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例2熱軋鉬板四的結構示意圖；