[實用新型]一種酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置

有效

• 申請號: 201821067976.0
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208869547U
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發明（設計）人: 戈士勇
• 申請（專利權）人: 江陰潤瑪電子材料股份有限公司
• 主分類號: C09K13/08
• 分類號: C09K13/08;B01F13/10
• 代理公司: 江陰義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 郭超

1.一種酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置，包括依次連接的辛胺儲罐、第一混合罐、第二混合罐、調節閥、過濾裝置和成品罐，所述第一混合罐上還連接有添加劑儲罐，所述第二混合罐上還連接有氟化銨儲罐、氟氫酸儲罐和去離子水儲罐，其特征在于，所述過濾裝置包括一個過濾罐體、設置在過濾罐體內部的過濾件及設置在過濾罐體上的進料口、出料口和排污口，所述進料口位于過濾罐體的側壁處，所述出料口位于過濾罐體的頂部，所述排污口位于過濾罐體底部，所述排污口設有相適配的塞子；所述過濾件為圓錐形濾網，且圓錐形濾網的大端口與過濾罐體內壁密封固定連接，所述過濾罐體出料口后管路上設有采出泵，所述過濾罐體出料口通過管路與采出泵連接后再與成品罐進口相連。

2.根據權利要求1所述的酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置，其特征在于，所述圓錐形濾網的大端口在上側，小端口在下側。

3.根據權利要求2所述的酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置，其特征在于，所述過濾罐體上還設有沖洗口，所述沖洗口位于過濾罐體的頂部。

4.根據權利要求3所述的酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置，其特征在于，所述的過濾裝置包括多個并聯連接的過濾罐體，所述每一個單獨的過濾罐體進料口前的管路上均設置一個調節閥。

5.根據權利要求4所述的酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置，其特征在于，所述第一混合罐、第二混合罐內均設有攪拌器，所述攪拌器為轉速調節式攪拌器。

6.根據權利要求1-5任一項所述的酸性氟化銨蝕刻液的制備裝置，其特征在于，所述第一混合罐、第二混合罐和成品罐內壁均為聚四氟乙烯層。