[實用新型]靶材組件

有效

• 申請號: 201821066896.3
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN208604201U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 李靜雅;白洋;孫良成;劉小魚;婁樹普;魯飛;李慧;劉樹峰;王峰;成宇;李德輝
• 申請（專利權）人: 包頭稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料國家工程研究中心有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京康盛知識產權代理有限公司 11331
• 代理人: 張良

1.一種靶材組件，其特征在于，包括：靶體蓋圈、中心靶體、冷卻背板，靶體蓋圈在中部設置有開口，在內側設置有腔室；中心靶體設置在腔室內，中心靶體與腔室無縫隙緊密配合，靶體蓋圈的底部固定在冷卻背板上；中心靶體的底面與靶體蓋圈的底面位于同一個平面；中心靶體位于開口的上平面與上端面構成濺射面。

2.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，中心靶體為單體靶或者焊接型靶。

3.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈的上端面為環形平面或者環形斜面，靶體蓋圈、腔室的外形為圓柱體，中心靶體的底面與靶體蓋圈的底端面貼合于冷卻背板上。

4.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，中心靶體與腔室采用螺紋連接的方式。

5.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，上端面的頂部設置特有頂柱，頂柱為環形，頂柱的頂面為環形平面；上端面、頂柱、中心靶體位于開口的上平面構成臺階形的濺射面。

6.如權利要求5所述靶材組件，其特征在于，頂柱的外徑與靶體蓋圈的外徑相同。

7.如權利要求1所述靶材組件，其特征在于，靶體蓋圈、腔室和中心靶體的外形為矩形柱體。