[實用新型]一種PECVD對射感應器管道的改進結構

有效

• 申請號: 201821059362.8
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN208455059U
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 王燁明
• 申請（專利權）人: 百力達太陽能股份有限公司
• 主分類號: C23C16/511
• 分類號: C23C16/511;C23C16/505;C23C16/513;C23C16/517
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型公開了一種PECVD對射感應器管道的改進結構，包括對射感應器管道，對射感應器管道外套設有不銹鋼管，不銹鋼管與對射感應器管道可拆卸連接，對射感應器管道自由端位于不銹鋼管中。該PECVD對射感應器管道的改進結構方便更換對射感應器管道避免沉積物對對射感應器的影響，節省了更換時間和成本。

技術領域：

本實用新型涉及光伏太陽能領域，具體講是一種PECVD對射感應器管道的改進結構。

背景技術：

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學活性很強，很容易發生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。如圖1所示，對射感應器管道1的固定端12通過法蘭盤2固定在PECVD腔體內壁上，對射感應器管道自由端11容易形成較厚的沉積物，而對射感應器就安裝在對射感應器管道的自由端端部，其中，對射感應器管道按組對稱設置在PECVD腔體內，即每組對射反應器管道分別安裝在腔體上部和底部，另一端分別向腔體下部和上部延伸，并在管道延伸的端部安裝有對射感應器，對射感應器用來感應腔體內運行的載板，因此對射感應器延伸的端部的沉積物會影響對射感應器的光感反應，導致機器誤報，從而導致工藝腔內堵板，造成硅片返工和降級，在拆卸過程中需要人員到腔體下面去拆卸，造成拆卸時又緩慢又難拆卸，更會造成在安裝過程中由于不仔細而導致腔體漏氧引起工藝異常。

實用新型內容：

本實用新型所要解決的技術問題是，提供一種方便更換對射感應器管道避免沉積物對對射感應器的影響的PECVD對射感應器管道的改進結構，該改進結構方便更換，節省了更換對射感應器管道時間和成本。

本實用新型的技術解決方案是，提供一種PECVD對射感應器管道的改進結構，包括對射感應器管道，對射感應器管道外套設有不銹鋼管，不銹鋼管與對射感應器管道可拆卸連接，對射感應器管道自由端位于不銹鋼管中。

采用以上結構后與現有技術相比，本實用新型具有以下優點：通過在對射感應器管道上套設不銹鋼管，對射感應器管道位于不銹鋼管中，這樣就可以將對射感應器固定在不銹鋼管的端部，相當于原來的對射感應器作為一個固定座，這樣當不銹鋼管的端部堆積沉積物影響對射感應器正常工作時，只需要將不銹鋼管拆卸，換上新的不銹鋼管，再將對射感應器固定在不銹鋼管上即可，避免將原來的對射感應器管道進行拆卸，簡化了操作，并且，設備自帶的對射感應器管道作為零部件購買，成本在一千元左右，而更換不銹鋼管的成本在幾十塊錢。

作為優選，不銹鋼管的直徑略大于對射感應器管道的直徑，不銹鋼管固定端附近具有固定孔，通過螺絲與對射感應器管道固定。用螺絲從固定孔中穿過定頂靠在對射感應器管道上，方便拆卸。

進一步的，不銹鋼管的長度為對射感應器管道長度的1.5倍以上。

附圖說明：

圖1為現有技術的對射感應器管道的結構示意圖。

圖2為本實用新型的結構示意圖。

具體實施方式：

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步說明：

如圖2所示，一種PECVD對射感應器管道的改進結構，包括對射感應器管道1，對射感應器管道1外套設有不銹鋼管3，不銹鋼管3與對射感應器管道1可拆卸連接，對射感應器管道自由端11位于不銹鋼管中，最好距離不銹鋼管自由端端部31具有一定距離。比較合適的，不銹鋼管的長度為對射感應器管道長度的1.5倍以上，也就是說，將原結構的對射感應器管道的自由端截掉一段，截掉的長度為原長度的三分之一到二分之一，因為該自由端如果太靠近不銹鋼管的自由端，對射感應器管道的自由端堆積沉積物后，多到靠近不銹鋼管的端部，也會影響對射感應器的正常工作。