[實用新型]一種用于零位對準的光柵結構有效
| 申請號: | 201821059002.8 | 申請日: | 2018-07-05 |
| 公開(公告)號: | CN208297767U | 公開(公告)日: | 2018-12-28 |
| 發明(設計)人: | 周康;范小康;孫禹;嚴爽;王竹萍 | 申請(專利權)人: | 武漢光谷航天三江激光產業技術研究院有限公司 |
| 主分類號: | G02B5/18 | 分類號: | G02B5/18 |
| 代理公司: | 北京眾達德權知識產權代理有限公司 11570 | 代理人: | 何蓉 |
| 地址: | 430000 湖北省武漢市東湖*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 標尺光柵 掃描光柵 對準 一級衍射光 光柵結構 零位 凸透鏡 反射 裝配 精密加工技術 本實用新型 光信號轉化 光柵 不透光區 光源發射 技術效果 相對設置 預設規則 預設周期 焦點處 平行光 透光區 探測器 凸臺 聚焦 | ||
1.一種用于零位對準的光柵結構,其特征在于,所述光柵結構包括:
掃描光柵,所述掃描光柵設置在光源發射的平行光的光路上,且,所述掃描光柵包括按照預設規則排列的多個透光區和多個不透光區;
標尺光柵,所述標尺光柵與所述掃描光柵相對設置,且,所述平行光經過所述掃描光柵之后,在所述標尺光柵表面產生反射和衍射,其中,所述標尺光柵包括按照預設周期排列的刻縫和N個凸臺;
將反射的一級衍射光進行聚焦的凸透鏡,所述凸透鏡設置在反射后的一級衍射光的光路上;
在焦點處接收所述一級衍射光,并將光信號轉化為電信號的探測器,所述探測器設置在聚焦后的所述一級衍射光的光路上。
2.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述標尺光柵尺寸為5mm*10mm;所述掃描光柵尺寸為5mm*5mm。
3.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述掃描光柵的材質為玻璃板,且,所述玻璃板上具有一金屬層。
4.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述掃描光柵按照129位編碼方式排列,其中,所述透光區為編碼為“1”的區域。
5.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述標尺光柵上刻蝕鍍金屬膜。
6.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述預設周期包括第一周期和第二周期,其中,所述第一周期和所述第二周期交替分布。
7.如權利要求6所述的光柵結構,其特征在于,所述第一周期為6μm,所述第二周期為16μm。
8.如權利要求7所述的光柵結構,其特征在于,所述標尺光柵按照129位編碼方式排列,其中,刻縫周期為6μm對應的編碼為“1”,刻縫周期為16μm對應的編碼為“0”。
9.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述凸臺的凸起高度為0.1582μm,占空比為0.5。
10.如權利要求1所述的光柵結構,其特征在于,所述標尺光柵和所述掃描光柵之間的距離為0-21mm。
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