[實用新型]一種分體式超聲波清洗裝置

有效

• 申請號: 201821055996.6
• 申請日: 2018-07-04
• 公開（公告）號: CN208483697U
• 公開（公告）日: 2019-02-12
• 發明（設計）人: 盧立建;肖強;劉紅宇;蘇習明
• 申請（專利權）人: 中科光電集團有限公司
• 主分類號: B24B37/27
• 分類號: B24B37/27;B24B37/34;B08B3/12
• 代理公司: 深圳市創富知識產權代理有限公司 44367
• 代理人: 趙素麗;彭俊垣

1.一種分體式超聲波清洗裝置，用于清洗研磨設備的研磨夾具；其特征在于：所述研磨夾具用于夾持待研磨光器件，與所述研磨設備之間通過支撐臂連接；所述支撐臂可帶動所述研磨夾具在豎直面上呈角度翻轉；所述分體式超聲波清洗裝置包括清洗槽、與所述清洗槽連接的超聲波換能器、以及與所述超聲波換能器電性連接的超聲波控制單元；所述研磨夾具懸空置于所述清洗槽內；在所述清洗槽上形成有與所述研磨夾具可拆卸連接的固定結構。

2.根據權利要求1所述的分體式超聲波清洗裝置，其特征在于：在所述研磨夾具上形成有用于夾持所述清洗槽側壁的夾持結構；在所述清洗槽的側壁上形成有供所述夾持結構嵌入的卡位；所述夾持結構和卡位構成所述固定結構。

3.根據權利要求2所述的分體式超聲波清洗裝置，其特征在于：所述超聲波換能器位于所述清洗槽的下方，且抵靠于所述清洗槽的底部。

4.根據權利要求3所述的分體式超聲波清洗裝置，其特征在于：在所述清洗槽的底部開設有與出水管連通的出水孔，側壁開設有與進水管連通的進水孔。

5.根據權利要求4所述的分體式超聲波清洗裝置，其特征在于：所述支撐臂可帶動所述研磨夾具在豎直面上呈35°～45°的角度翻轉。