[實用新型]一種新型晶圓撕膜機

有效

• 申請號: 201821055923.7
• 申請日: 2018-07-05
• 公開（公告）號: CN208515144U
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 楊雪松;王倩;王麗;朱威莉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種新型晶圓撕膜機，包括工作平臺、顯示屏、撕膜機主體、輔助殼以及撕膜機主體下表面設置的支撐機構，所述撕膜機主體的上表面設置有防護機構，所述防護機構包括限位槽、凹槽、控制蓋、軸承、把手、彈性墊片和限位柱，所述工作平臺安裝設置在撕膜機主體的上表面中間位置處，所述顯示屏安裝固定于撕膜機主體的側面；該實用新型設置有防護機構，控制蓋的邊緣與凹槽內部的彈性墊片貼合，防止控制蓋在關閉時與撕膜機主體碰撞，防止撕膜機主體損傷并增加撕膜機主體的使用壽命，提高撕膜機主體的工作效率，控制蓋兩側軸承可防止控制蓋在活動時產生異響，并防止控制蓋摩擦損傷，增加控制蓋的耐用性。

技術領域

本實用新型屬于撕膜機技術領域，具體涉及一種新型晶圓撕膜機。

背景技術

硅是由石英砂所精練出來的，晶圓便是硅元素加以純化（99.999%），接著是將這些純硅制成硅晶棒，成為制造集成電路的石英半導體的材料，經過照相制版，研磨，拋光，切片等程序，將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圓，如8英寸晶圓、12英寸晶圓等，在使用晶圓制造集成電路前，需要把晶圓表面的膜撕開，晶圓撕膜方式分為人工撕膜、半自動撕膜機、全自動撕膜機。

現有的撕膜機控制蓋在使用時容易發生摩擦產生噪音，長時間使用會減少控制蓋的使用壽命，且在控制蓋關閉時控制蓋下表面邊緣與撕膜機表面直接碰撞，容易發生碰撞響聲長時間碰撞容易變形，導致撕膜機主體損壞降低使用壽命的問題，為此我們提出一種新型晶圓撕膜機。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型晶圓撕膜機，以解決上述背景技術中提出現有的撕膜機控制蓋在使用時容易發生摩擦產生噪音，長時間使用會減少控制蓋的使用壽命，且在控制蓋關閉時控制蓋下表面邊緣與撕膜機表面直接碰撞，容易發生碰撞響聲長時間碰撞容易變形，導致撕膜機主體損壞降低使用壽命的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型晶圓撕膜機，包括工作平臺、顯示屏、撕膜機主體、輔助殼以及撕膜機主體下表面設置的支撐機構，所述撕膜機主體的上表面設置有防護機構，所述防護機構包括限位槽、凹槽、控制蓋、軸承、把手、彈性墊片和限位柱，所述工作平臺安裝設置在撕膜機主體的上表面中間位置處，所述顯示屏安裝固定于撕膜機主體的側面，所述輔助殼安裝固定于撕膜機主體的上側，所述限位槽對稱開設在撕膜機主體的上表面且位于工作平臺的兩側，所述凹槽開設在撕膜機主體的上表面邊緣位置處且與控制蓋的位置相對應，所述彈性墊片安裝放置在凹槽的內部，所述軸承對稱安裝固定在控制蓋的兩側，所述控制蓋通過軸承與撕膜機主體的上表面連接且控制蓋的下表面邊緣位置與凹槽卡合，所述把手安裝固定在控制蓋的側面中間位置處，所述限位柱對稱安裝固定在控制蓋的下表面并放置在限位槽的內部，所述控制蓋的上表面設置有控制機構。

優選的，所述控制機構包括第一磁體、第一固定槽、第二磁體、第二固定槽和連接桿，所述第一固定槽對稱開設在控制蓋的上表面兩端，所述第一磁體固定放置在第一固定槽的內部并與第二磁體相互吸引，所述第二磁體固定放置在第二固定槽的內部，所述第二固定槽開設在連接桿的側面，所述連接桿對稱安裝在輔助殼的側面且與第一固定槽的位置相對應。

優選的，所述支撐機構包括支撐腿、防震墊、活動槽和防滑墊，所述支撐腿安裝固定在撕膜機主體的下表面四角位置處并放置在活動槽的內部，所述活動槽開設在撕膜機主體的下表面四角位置處，所述防震墊放置在活動槽的內部并與支撐腿的頂端連接，所述防滑墊套設在支撐腿的底端表面。

優選的，所述連接桿的一端與輔助殼側面連接固定另一端設置有第二磁體，所述連接桿通過第二磁體與第一磁體相互吸引和控制蓋側面連接固定。

優選的，所述凹槽的內部放置有彈性墊片，所述彈性墊片的外表面與凹槽的內表面貼合，所述彈性墊片的內表面放置有控制蓋下表面邊緣殼體，所述限位柱的一端與限位槽卡合另一端與控制蓋的下表面連接固定。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：