[實用新型]一種用于二氧化碳發泡機的聯動機構

有效

• 申請號: 201821047935.5
• 申請日: 2018-07-04
• 公開（公告）號: CN209076439U
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 張喬棟;張慧;陳業;孫健;袁泉
• 申請（專利權）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: B01F3/04
• 分類號: B01F3/04;C02F1/68
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種用于二氧化碳發泡機的聯動機構，包括發泡室，所述發泡室的一側通過支架設置有電機，所述電機的一端設置有第一旋轉桿，所述第一旋轉桿的一端貫穿電機的外側表面到達電機的內部，所述第一旋轉桿的另一端貫穿發泡室的側面到達發泡室的內部，所述第一旋轉桿的外側表面通過插銷設置有偏角齒輪，所述第一旋轉桿的外側表面設置有滾動軸承，所述第一旋轉桿的一端頂端設置有咬合盤，所述咬合盤的側面設置有通孔；發泡機新增了聯動機構，在使用時能夠通過一臺電機設備控制多個發泡室的運行，能夠使得多個發泡室并在一起運行，減少設備的占地面積，在生產時減少了設備成本投入，同時提升了經濟效應。

技術領域

本實用新型屬于發泡機技術領域，具體涉及一種用于二氧化碳發泡機的聯動機構。

背景技術

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅芯片，由于其形狀為圓形，故稱為圓晶。目前的晶圓尺寸一般為8英寸晶圓，12英寸晶圓，目前的晶圓在生過程中會會用到二氧化碳發泡機，目前的發泡機在使用過程中一臺設備需要一臺電機，各個設備之間不能夠聯動，且各個設備分開放置占地面積大，生產過程中經濟投入大，針對目前的發泡機使用過程中所暴露的問題，有必要對發泡機的結構進行重新改進并優化，為此我們提出一種用于二氧化碳發泡機的聯動機構。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于二氧化碳發泡機的聯動機構，以解決上述背景技術中提出的發泡機使用時各個設備之間不能夠聯動，生產設備的經濟投入大的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種用于二氧化碳發泡機的聯動機構，包括發泡室，所述發泡室的一側通過支架設置有電機，所述電機的一端設置有第一旋轉桿，所述第一旋轉桿的一端貫穿電機的外側表面到達電機的內部，所述第一旋轉桿的另一端貫穿發泡室的側面到達發泡室的內部，所述第一旋轉桿的外側表面通過插銷設置有偏角齒輪B，所述第一旋轉桿的外側表面設置有滾動軸承，所述第一旋轉桿的一端頂端設置有咬合盤，所述咬合盤的側面設置有通孔，所述通孔的內部設置有第一固定螺栓，所述咬合盤的另一端設置有第二旋轉桿，所述第二旋轉桿通過咬合盤和第一固定螺栓與第一旋轉桿連接固定, 所述第一旋轉桿與第二旋轉桿的下方均設置有發泡槳葉，所述發泡槳葉的內部設置有同步桿。

優選的，所述發泡室的側面通過切割設置有限位槽，所述發泡室的側面設置有滾動軸承，所述滾動軸承的側表面設置有凹槽，所述凹槽的一側設置有咬合棱邊，所述咬合棱邊設置在滾動軸承的側面，所述咬合棱邊與限位槽相咬合接觸。

優選的，所述第一旋轉桿的下方通過支架設置有偏角齒輪A，所述偏角齒輪B與偏角齒輪A的側面相互嚙合。

優選的，所述第二旋轉桿的兩端都設置有咬合盤，所述咬合盤的一側表面均勻設置有咬合齒，且所述兩個咬合盤對稱安裝。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

（1）發泡機新增了聯動機構，在使用時能夠通過一臺電機設備控制多個發泡室的運行，能夠使得多個發泡室并在一起運行，減少設備的占地面積，在生產時減少了設備成本投入，同時提升了經濟效應。

（2）發泡機的聯動機構的滾動軸承增加了固定用結構，便于設備的固定，同時在需要變更聯動機構時便于工作人員的操作，在保持結構穩定的同時提升了工作人員的勞動效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的內部結構示意圖；

圖2為本實用新型的連接盤結構示意圖；

圖3為本實用新型的滾動軸承結構示意圖；

圖4為本實用新型的滾動軸承截面結構示意圖；

圖5為本實用新型的滾動軸承咬合圈結構示意圖；

圖6為本實用新型的滾動軸承外圈固定結構示意圖；