[實用新型]一種真空手套箱凈化柱結構

有效

• 申請號: 201821041657.2
• 申請日: 2018-07-03
• 公開（公告）號: CN208409925U
• 公開（公告）日: 2019-01-22
• 發明（設計）人: 鳳旭;周佳崎;徐曉偉;張杰豪;劉文兵;曾立軍;鳳強;梁民忠
• 申請（專利權）人: 科晶真空科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: B25J21/02
• 分類號: B25J21/02
• 代理公司: 南京鐘山專利代理有限公司 32252
• 代理人: 戴朝榮

1.一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：包括真空手套箱凈化罐體（2） ,所述真空手套箱凈化罐體（2）上端設有進氣口（1），所述真空手套箱凈化罐體（2）下端設有出氣口（3），所述進氣口（1）與所述出氣口（3）與真空手套箱相連；所述真空手套箱凈化罐體（2）內部設有上層凈化混合物（4） 、中間層凈化混合物 （5）、下層凈化混合物（6） 、中間分隔網板（7），所述中間分隔網板（7）分為上分隔網板（71）和下分隔網板（72），所述上分隔網板（71）位于所述上層凈化混合物（4）與所述中間層凈化混合物 （5）之間，所述下分隔網板（72）位于所述中間層凈化混合物 （5）與下層凈化混合物（6）之間，所述中間分隔網板（7）用作隔層；所述上層凈化混合物（4）的空間密度最小，所述上層凈化混合物（4）對由進氣口（1）進入的氣體進行初級過濾，先過濾掉大部分的氧和水；過濾后的氣體進入所述中間層凈化混合物（5），所述中間層凈化混合物（5）是過渡層，所述中間層凈化混合物（5）的空間密度比上層凈化混合物（4）的空間密度大一倍；接著過濾后氣體進入所述下層凈化混合物（6）中，所述下層凈化混合物（6）為精過濾，所述下層凈化混合物（6）的空間密度比中間層凈化混合物（5）的空間密度更大，最后過濾后的氣體從出氣口（3）出來進入真空手套箱中。

2.根據權利要求1所述的一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：所述上層凈化混合物（4） 、中間層凈化混合物 （5）、下層凈化混合物（6）是指銅觸媒和分子篩的混合物。

3.根據權利要求2所述的一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：所述上層凈化混合物（4）的空間密度為所述中間層凈化混合物（5）的空間密度的1/2。

4.根據權利要求3所述的一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：所述下層凈化混合物（6）的空間密度比中間層凈化混合物（5）的空間密度大2倍。

5.根據權利要求4所述的一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：所述中間分隔網板（7）由不規則網絡構成。

6.根據權利要求5所述的一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：所述上分隔網板（71）的孔隙尺寸大于下分隔網板（72）的孔隙尺寸。

7.根據權利要求6所述的一種真空手套箱凈化柱結構，其特征在于：所述進氣口（1）與所述出氣口（3）與真空手套箱管道連接。