[實用新型]磷化氫數據傳感器

有效

• 申請號: 201821029815.2
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN208580079U
• 公開（公告）日: 2019-03-05
• 發明（設計）人: 朱建峰;劉緯縝
• 申請（專利權）人: 浙江長投云聯信息科技有限公司
• 主分類號: G01N33/00
• 分類號: G01N33/00
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 錢磊

磷化氫數據傳感器，包括傳感器安裝盤和換氣箱，所述傳感器安裝盤設于換氣箱內，該換氣箱整體呈圓缺形，與傳感器安裝盤同心設置，傳感器安裝盤的中心設有中心軸，中心軸貫穿換氣箱并且通過軸承與換氣箱連接，中心軸與傳感器安裝盤固定連接；傳感器安裝盤內設有三個均勻環形陣列分布的安裝孔，安裝孔的外端延伸到傳感器安裝盤的外周構成開口，三個安裝孔內分別設有一個磷化氫傳感器；該磷化氫數據傳感器通過換氣箱為傳感器提供恢復的場所，利用傳感器安裝盤對傳感器的工作進行換位，使傳感器能夠不長時間暴露在監測環境中，延長其使用壽命，提高檢測精度，值得大力推廣。

技術領域

本實用新型涉及傳感器技術領域，尤其是一種磷化氫數據傳感器。

背景技術

磷化氫(化學式：PH3)是一種有臭味的無色、易燃氣體，有劇毒，吸入磷化氫會對心臟、呼吸系統、腎、腸胃、神經系統和肝臟造成影響。磷化氫是IC制造的原料，也是半導體器件重要的N型摻雜源，同時，磷化氫還用于多晶硅化學氣相沉淀、離子注入等工藝中，在煙葉醇化加工中也會使用到磷化氫作為熏蒸。磷化氫作為高毒易燃氣體，在與之有關的化工合成和半導體制造中，通常利用磷化氫傳感器對其進行監測，以起到安全保護作用。

現有技術中的磷化氫傳感器都是長時間暴露在監測環境中，由于是一種電化學氣體傳感器，因此其長時間暴露在監測環境中會導致磷化氫傳感器靈敏度降低，檢測準確度降低，縮短其使用壽命。

實用新型內容

本實用新型旨在提供一種使用壽命長的磷化氫數據傳感器。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：磷化氫數據傳感器，包括傳感器安裝盤和換氣箱，所述傳感器安裝盤設于換氣箱內，該換氣箱整體呈圓缺形，與傳感器安裝盤同心設置，傳感器安裝盤的中心設有中心軸，中心軸貫穿換氣箱并且通過軸承與換氣箱連接，中心軸與傳感器安裝盤固定連接；傳感器安裝盤內設有三個均勻環形陣列分布的安裝孔，安裝孔的外端延伸到傳感器安裝盤的外周構成開口，三個安裝孔內分別設有一個磷化氫傳感器；換氣箱的缺口處設有一個側板，側板上設有與傳感器安裝盤配合的開口，該側板與傳感器安裝盤之間設有密封墊，換氣箱的外周開有進氣口和出氣口，其中進氣口通過管道連接排氣管道，出氣口通過管道連接風機的出風口。

作為本實用新型的進一步方案：所述中心軸的底部通過聯軸器連接減速電機的輸出軸。

作為本實用新型的進一步方案：所述磷化氫傳感器為擴散型磷化氫傳感器。

作為本實用新型的進一步方案：所述中心軸中心設有通孔，并且側面設有與安裝孔連通的連通孔，磷化氫傳感器的引線能夠從連通孔進入中心軸中心通孔，再從中心軸頂部延伸到外部。

作為本實用新型的進一步方案：所述磷化氫傳感器上套上橡膠圈后通過橡膠圈的漲緊固定在安裝孔內。

作為本實用新型的進一步方案：所述密封墊固定于側板上。

作為本實用新型的進一步方案：所述換氣箱整體是由一個弧形板、兩個圓缺形端蓋和一個側板組成，其中兩個圓缺形端蓋設于弧形板的上下兩端，側板設于換氣箱的缺口處，并且側板與端蓋和弧形板固定連接。

作為本實用新型的進一步方案：所述風機替換為惰性氣體儲罐。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該磷化氫數據傳感器通過換氣箱為傳感器提供恢復的場所，利用傳感器安裝盤對傳感器的工作進行換位，使傳感器能夠不長時間暴露在監測環境中，延長其使用壽命，提高檢測精度，值得大力推廣。

附圖說明

圖1為本實用新型的內部結構示意圖。

圖2為本實用新型的外部結構示意圖。

圖3為本實用新型的側板的結構示意圖。