[實用新型]一種高真空蒸發(fā)源擋板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821027139.5
• 申請日: 2018-07-02
• 公開（公告）號: CN208634507U
• 公開（公告）日: 2019-03-22
• 發(fā)明（設計）人: 李璐
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽科誠真空技術(shù)有限公司
• 主分類號: F16K51/02
• 分類號: F16K51/02;F16K31/122
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型提供一種高真空蒸發(fā)源擋板，涉及一種高真空設備技術(shù)領(lǐng)域。該實用新型包括氣缸結(jié)構(gòu)、連接結(jié)構(gòu)和升降結(jié)構(gòu)，升降結(jié)構(gòu)包括升降定位板和升降定位桿，升降定位板包括第一升降定位板和第二升降定位板，升降定位桿包括第一升降定位桿、第二升降定位桿和第三升降定位桿，氣缸結(jié)構(gòu)包括氣缸和輸出軸，連接結(jié)構(gòu)包括相連接的法蘭結(jié)構(gòu)和波紋管，法蘭結(jié)構(gòu)包括法蘭壓蓋和法蘭接管。本實用新型具有簡潔，便捷，成本低廉，安全可靠，使用壽命長的優(yōu)點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種高真空設備技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種高真空蒸發(fā)源擋板。

背景技術(shù)

現(xiàn)有蒸發(fā)源擋板多為結(jié)構(gòu)復雜，更換困難，并且其所占空間較大，成本過高。

實用新型內(nèi)容

針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種高真空蒸發(fā)源擋板，使其具有簡潔，便捷，成本低廉，安全可靠，使用壽命長的優(yōu)點。

為了解決上述問題，本實用新型提供一種高真空蒸發(fā)源擋板，其中，包括氣缸結(jié)構(gòu)、連接結(jié)構(gòu)和升降結(jié)構(gòu)，所述升降結(jié)構(gòu)包括升降定位板和升降定位桿，所述升降定位板包括第一升降定位板和第二升降定位板，所述所述升降定位桿包括第一升降定位桿、第二升降定位桿和第三升降定位桿，所述第一升降定位板和所述第二升降定位板通過所述第一升降定位桿、所述第二升降定位桿和所述第三升降定位桿固定連接，所述氣缸結(jié)構(gòu)包括氣缸和輸出軸，所述氣缸安裝在所述第一升降定位板上端，所述輸出軸位于所述第一升降定位板和所述第二升降定位板之間，所述氣缸通過所述輸出軸與所述連接結(jié)構(gòu)連接，所述連接結(jié)構(gòu)包括相連接的法蘭結(jié)構(gòu)和波紋管，所述法蘭結(jié)構(gòu)包括法蘭壓蓋和法蘭接管，所述波紋管的一端與所述輸出軸連接，所述波紋管的另一端與所述法蘭接管連接，所述法蘭接管通過所述法蘭壓蓋與所述第二升降定位板固定連接。

優(yōu)選的，所述第一升降定位板為圓環(huán)結(jié)構(gòu)，所述第一升降定位板中心處設置有第一圓孔，所述第一升降定位板外沿上設置有第一凸起、第二凸起和第三凸起。

優(yōu)選的，所述第二升降定位板為圓環(huán)結(jié)構(gòu)，所述第二升降定位板中心處設置有第二圓孔，所述第二升降定位板外沿上設置有第四凸起、第五凸起和第六凸起。

優(yōu)選的，所述第一凸起和所述第四凸起通過所述第一升降定位桿連接，所述第二凸起和所述第五凸起通過所述第二升降定位桿連接，所述第三凸起和所述第六凸起通過所述第三升降定位桿連接。

優(yōu)選的，所述輸出軸穿透所述第一圓孔與所述氣缸連接。

優(yōu)選的，還包括升降軸，所述升降軸依次穿透所述第二圓孔、所述法蘭接管、所述波紋管與所述輸出軸連接，所述升降軸分別與所述第二圓孔、所述法蘭接管、所述波紋管滑動連接。

優(yōu)選的，所述升降軸上設置有升降導套，所述升降導套上設置有升降導套桿。

優(yōu)選的，所述升降軸的頂端設置有轉(zhuǎn)動架，所述轉(zhuǎn)動架上設置有擋板，所述擋板通過定位銷與所述轉(zhuǎn)動架轉(zhuǎn)動連接。

優(yōu)選的，所述氣缸上設置有氣嘴，所述氣嘴包括設置在所述氣缸左端的第一氣嘴和設置在所述氣缸右端的第二氣嘴。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點：

1、本實用新型采用氣缸驅(qū)動，動作速度快，且環(huán)保易取得；

2、本實用新型采用模塊式設計，整體更換或維修方便，且成本低廉；

3、本實用新型采用焊接波紋管為活動密封部件，安全可靠，使用壽命長。

附圖說明

圖1是本實用新型的實施例剖面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實用新型的實施例整體結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式