[實用新型]氣體傳輸裝置有效
| 申請號： | 201821024715.0 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN208779132U | 公開（公告）日： | 2019-04-23 |
| 發明（設計）人： | 涂宏彬 | 申請（專利權）人： | 涂宏彬 |
| 主分類號： | F17C13/00 | 分類號： | F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/02;F17D1/075;F17D3/01;F17D3/18 |
| 代理公司： | 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿軍 |
| 地址： | 中國臺灣臺北*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電子式 質量流量控制器 氣體傳輸裝置 本實用新型 質量流量計 氣瓶 電性連接 管路連接 控制器 低揮發 輸出量 壓制 | ||
1.一種氣體傳輸裝置，其特征在于，其包括：
一氣瓶；
一電子式質量流量控制器，連接該氣瓶；
一電子式質量流量計，經由一管路連接該電子式質量流量控制器；
一控制器，電性連接該電子式質量流量控制器與該電子式質量流量計。
2.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，該電子式質量流量控制器為一自動控制閥門。
3.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，該電子式質量流量控制器為一數字式電子式質量流量控制器。
4.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，該電子式質量流量計為一數字式電子式質量流量計。
5.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，該電子式質量流量計的一輸出端，連接數個制程系統。
6.如權利要求5所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，還包含一壓力感測器，連接于該電子式質量流量計與該些制程系統之間。
7.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，還包含一加熱元件，披覆在該氣瓶的外部。
8.如權利要求7所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，還包含一加熱控制器，電性連接于該控制器與該氣瓶之間。
9.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，該質量流量控制器的精度在正負1％以內，線性度在正負0.5％以內，再現性在正負0.2％以內，且反應時間在3秒以內。
10.如權利要求1所述的氣體傳輸裝置，其特征在于，該電子式質量流量計的精度在正負1％以內，線性度在正負0.5％以內，再現性在正負0.2％以內，且反應時間在3秒以內。
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