[實(shí)用新型]一種高透射率的原子束顯微裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821017847.0
• 申請(qǐng)日: 2018-06-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208752027U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李凡;張向平
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 金華職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類(lèi)號(hào): G01N23/20008
• 分類(lèi)號(hào): G01N23/20008
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種高透射率的原子束顯微裝置，主要包括儲(chǔ)氣罐(1)、氣管(2)、由腔體I(3-1)和腔體II(3-2)連接成的真空腔體(3)、噴射頭(4)、分流器(5)、氣體透射窗片(6)、原子衍射片(7)、第一階菲涅爾環(huán)帶透射區(qū)域上的通孔(7-1)、第二階菲涅爾環(huán)帶透射區(qū)域上的通孔(7-2)、探測(cè)器I(8)、樣品(9)、樣品臺(tái)(10)、計(jì)算機(jī)(11)、探測(cè)器II(12)、抽氣口I(13)、真空泵組I(14)、抽氣口II(15)、真空泵組II(16)，所述腔體I(3-1)和腔體II(3-2)通過(guò)分流器(5)連接，腔體II(3-2)通過(guò)抽氣口I(13)連接真空泵組I(14)，腔體I(3-1)通過(guò)抽氣口II(15)連接真空泵組II(16)，探測(cè)器I(8)和探測(cè)器II(12)相同；噴射頭(4)位于腔體I(3-1)內(nèi)，噴射頭(4)通過(guò)氣管(2)與真空腔體(3)外的儲(chǔ)氣罐(1)連接，噴射頭(4)出口與分流器(5)的入口相對(duì)，所述氣體透射窗片(6)、原子衍射片(7)、探測(cè)器I(8)、探測(cè)器II(12)、樣品(9)和樣品臺(tái)(10)均位于腔體II(3-2)內(nèi)，氣體透射窗片(6)位于分流器(5)與原子衍射片(7)之間，樣品(9)固定于樣品臺(tái)(10)上且位于原子衍射片(7)后方，樣品(9)表面垂直于噴射頭(4)出口與分流器(5)的入口的連線，探測(cè)器I(8)和探測(cè)器II(12)分別位于樣品(9)表面兩側(cè)，樣品臺(tái)(10)能夠三維移動(dòng)，樣品臺(tái)(10)、探測(cè)器I(8)和探測(cè)器II(12)分別電纜連接計(jì)算機(jī)(11)，當(dāng)氣體原子從儲(chǔ)氣罐(1)通過(guò)氣管(2)傳輸至噴射頭(4)并以自由射流形式射入腔體I(3-1)，原子束流的一部分進(jìn)入分流器(5)入口并通過(guò)分流器(5)進(jìn)入腔體II(3-2)，能夠依次通過(guò)氣體透射窗片(6)及原子衍射片(7)后射到樣品(9)表面，從而形成原子束流的傳輸路徑，在確定氣體原子種類(lèi)、原子束流的動(dòng)能及顯微裝置所需的焦距后，能夠計(jì)算出原子衍射片上相應(yīng)的菲涅爾環(huán)帶的透射區(qū)域和不透射區(qū)域，用于確定通孔的直徑及中心位置，

其特征是：原子衍射片(7)中心位于噴射頭(4)出口中心和分流器(5)入口中心的連線的延長(zhǎng)線上，原子衍射片(7)為圓片狀，直徑為40微米，總厚度為50納米，由厚度為30納米的硅片在正反面各鍍上厚度為10納米氮化硅制成，原子衍射片(7)上具有大量孔截面為圓形的通孔，所述通孔的直徑及中心位置為在每個(gè)透射的菲涅爾環(huán)對(duì)應(yīng)的區(qū)域設(shè)置，通孔中心位于所述透射的菲涅爾環(huán)的中心線上，通孔直徑為其中心所位于的透射的菲涅爾環(huán)的寬度的1.1倍，相鄰所述通孔之間的間隙大于40納米，探測(cè)器I(8)和探測(cè)器II(12)分別探測(cè)被樣品(9)表面反射的原子，并以差分對(duì)模式工作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高透射率的原子束顯微裝置，其特征是：氣體透射窗片(6)中心位于噴射頭(4)出口中心和分流器(5)入口中心的連線的延長(zhǎng)線上，氣體透射窗片(6)上某一位置的透射率隨其與氣體透射窗片(6)中心之間的距離線性遞減，中心處透射率90％，距離中心20微米處透射率96％。