[實用新型]一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液系統有效

申請號：	201821017010.6	申請日：	2018-06-15
公開（公告）號：	CN208594334U	公開（公告）日：	2019-03-12
發明（設計）人：	李朝林;羅海健;周明明	申請（專利權）人：	哈爾濱工業大學深圳研究生院
主分類號：	C23F1/46	分類號：	C23F1/46;C25C1/12;C25C7/00;C23F1/18
代理公司：	北京維正專利代理有限公司 11508	代理人：	任志龍
地址：	518055 廣東省深圳***	國省代碼：	廣東;44
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摘要：
搜索關鍵詞：	微蝕刻廢液同步再生微蝕刻液電解槽陽極液儲槽銅回收陽極件陽極室陰極件陰極室電化學氧化反應蝕刻室內陰極本實用新型電化學還原金屬銅回收離子交換膜硫酸根離子硫酸鹽廢液電化學調節裝置廢液回收冷卻裝置陽極金屬銅蝕刻液銅離子排出分隔連通電源儲存
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【權利要求書】：

1.一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，包括第一電解槽(1)，所述第一電解槽(1)內設有將所述第一電解槽(1)分隔為陽極室(2)和陰極室(3)的離子交換膜(4)，所述陽極室(2)內設有供微蝕刻廢液中的硫酸根離子在其表面發生電化學氧化反應的陽極件(5)，所述陰極室(3)設有供微蝕刻廢液中的銅離子在其表面發生電化學還原反應的陰極件(6)，所述陽極件(5)和陰極件(6)之間連接有第一電源(7)。

2.根據權利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述陽極件(5)為具有高析氧電位的貴金屬鉑、摻硼金剛石電極、石墨電極、復合有稀土元素的鈦基片或鈮基片、IrO₂電極、RuO₂電極、TiO₂電極、PbO₂/TiO₂電極、SnO₂電極中的任意一種。

3.根據權利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述陰極件(6)為銅片、不銹鋼片、鉛電極、鉛銻合金片、石墨電極、鈦電極、復合有過渡金屬元素的鈦基板中的任意一種。

4.根據權利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述陽極室(2)連通有補充微蝕刻液循環再生過程中損失組分的調節裝置(8)。

5.根據權利要求1所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，其特征在于，所述第一電解槽(1)連通有對所述第一電解槽(1)進行降溫的冷卻裝置(9)。

6.一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液系統，其特征在于，包括如權利要求1-5中任意一項所述一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液裝置，還包括：

與所述陽極室(2)連通、用于回收所述陽極室(2)內經陽極件(5)電化學氧化循環再生的微蝕刻液的蝕刻機微蝕刻液儲槽(12)；

與所述蝕刻機微蝕刻液儲槽(12)連通、用于收集所述蝕刻機微蝕刻液儲槽(12)排出的微蝕刻廢液的微蝕刻廢液儲槽(10)，所述微蝕刻廢液儲槽(10)向所述陰極室(3)提供陰極液；以及，

與所述陰極室(3)和所述陽極室(2)連通、用于儲存所述陰極室(3)內經過電解回收金屬銅后的微蝕刻廢液并為所述陽極室(2)提供陽極液的陽極液儲槽(11)。

7.根據權利要求6所述的一種H₂SO₄/S₂O₈^2-微蝕刻廢液的銅回收及同步再生微蝕刻液系統，其特征在于，所述第一電解槽(1)的陽極室(2)和所述微蝕刻廢液儲槽(10)之間連通有無隔膜的第二電解槽(13)，所述第二電解槽(13)內設有電解裝置(14)，所述微蝕刻廢液儲槽(10)內的微蝕刻廢液經過所述電解裝置(14)回收金屬銅后導向所述第一電解槽(1)的陽極室(2)。

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