[實用新型]硅棒測試裝置

有效

• 申請號: 201821016999.9
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN208443735U
• 公開（公告）日: 2019-01-29
• 發明（設計）人: 李省平;李照武;黃開發;白梟龍;汪沛淵;晏文勇;歐子楊;張濤;陳駿;金浩
• 申請（專利權）人: 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
• 主分類號: G01N21/63
• 分類號: G01N21/63
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 何世磊

本實用新型提供了一種硅棒測試裝置，包括支撐臺、測試架、檢測組件，測試架包括與支撐臺連接的底板、設于底板中部柔性墊，以及設于底板邊緣的至少四個擋板，四個擋板分別設于底板的一個邊角，底板包括的中部設有安裝區域，柔性墊設置于安裝區域內。上述硅棒測試裝置，檢測時，將硅棒放置在底板上端的柔性墊上，然后推送到檢測組件的下端進行光致發光測試，其中，因為設置有柔性墊，使硅棒的底端的四周懸置于底板上端，進而使放置好的硅棒的底端與底板之間存在一個間隙，在作業人員在拿放硅棒的過程中，手指位于硅棒與底板之間的間隙之間，避免了壓手的問題，同時，通過設置四個擋板，固定硅棒的前后兩端，起到固定硅棒的作用。

技術領域

本實用新型涉及檢測裝置技術領域，特別涉及一種硅棒測試裝置。

背景技術

在硅棒的生產加工中，需要對硅棒進行光致發光(Photoluminescence，縮寫PL)測試，主要為了了解硅棒表面相關情況，判斷硅棒的品質。現主流PL測試的硅棒高度為156-160mm，寬度約156mm。

現有的硅棒測試裝置，一般包括支撐臺、設置在支撐臺上的測試臺、設置在支撐臺上方的檢測組件，測試臺通過滑移裝置與支撐臺連接，現有的測試臺由四個直角組成，硅棒的四個角分別放置在四個測試臺上，測試的硅棒放入該測試臺后，硅棒和測試臺邊緣有約1mm的間距。

但是，上述硅棒測試裝置中的測試臺，測試時，測試面朝上，裝有滑移裝置的支撐臺帶動測試臺進入檢測組件的檢測區域，測試時間0-1min不等，測試完后測試臺回到原位，在人工將硅棒放置在該測試臺時，由于測試臺前后兩直角之間的間距太小，手指容易被輕微夾壓住，不利于操作；且測試臺的硬度較高，硅棒較重，硅棒放入時有一定的沖擊力，容易造成硅棒磕碰磨損；同時，在測試過程中，難免有硅粉甚至小硅塊碎落至測試臺中，容易對硅塊表面造成損傷。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅棒測試裝置，以解決在將硅棒放置在測試臺上容易壓手的問題。

一種硅棒測試裝置，包括支撐臺、與所述支撐臺滑動連接的測試架、設于所述支撐臺一側的檢測組件，所述測試架包括與所述支撐臺連接的底板、設于所述底板中部柔性墊，以及設于所述底板邊緣的至少四個擋板，四個所述擋板分別設于所述底板的一個邊角，所述底板中部設有安裝區域，所述柔性墊設置于所述安裝區域內。

相較于現有技術，上述硅棒測試裝置，檢測時，將硅棒放置在底板上端的柔性墊上，然后推送到檢測組件的下端進行光致發光測試，其中，因為設置有柔性墊，使硅棒的底端的四周懸置于底板上端，進而使放置好的硅棒的底端與底板之間存在一個間隙，在作業人員在拿放硅棒的過程中，手指位于硅棒與底板之間的間隙之間，避免了壓手的問題，同時，通過設置四個擋板，固定硅棒的前后兩端，起到固定硅棒的作用。

進一步地，每一所述擋板的內側均設有一個緩沖墊。

進一步地，所述檢測組件包括與所述支撐臺連接的安裝架和設于所述安裝架上的激光光源、光譜儀、成像器，所述安裝架包括與所述支撐臺連接的連接板和與所述連接板連接的安裝板，所述安裝板一端與所述連接板連接，另一端朝向支撐臺的中部延伸，且所述安裝板與所述支撐臺平行，所述激光光源、所述光譜儀以及所述成像器均設于所述安裝板上。

進一步地，所述測試架通過一個滑移組件與所述支撐臺連接，所述滑移組件包括設于所述底板底端的滾珠絲杠和設于所述支撐臺上的直線導軌。

進一步地，所述柔性墊的上端均勻設有多個柔性凸塊。

進一步地，所述底板的每一邊均設有一個起物缺口。

進一步地，所述支撐臺的一側設有一個到位擋板，所述到位擋板的內側設有一個橡膠墊。

進一步地，所述到位擋板的高度小于所述底板的高度。

進一步地，所述到位擋板與所述底板對應的一側設有一個吸盤。