[實用新型]一種敏感膜及傳感器

有效

• 申請號: 201821014953.3
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN208432276U
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 黨茂強;邱冠勳;蔡孟錦
• 申請（專利權）人: 歌爾科技有限公司
• 主分類號: G01D5/24
• 分類號: G01D5/24
• 代理公司: 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442
• 代理人: 王昭智;馬佑平

本實用新型公開了一種敏感膜及傳感器，包括膜本體，在所述膜本體的邊緣區域設置有折環結構，所述折環結構呈非封閉的環狀；所述折環結構的非封閉位置構成非封閉區，所述膜本體位于折環結構兩側的位置與非封閉區是一體且連續的；所述折環結構設置有至少兩個，該至少兩個折環結構同心設置且分布在膜本體的徑向方向上。本實用新型的敏感膜，設置有至少兩個折環結構，每個折環結構都是非封閉的，通過該個折環結構可以更好地釋放膜內應力。另外，多個折環結構共同制約敏感膜的形變，使得保證敏感膜的可靠性，使敏感膜可以適用于不同的工況。

技術領域

本實用新型涉及一種敏感膜，更具體地，涉及一種用于傳感器的敏感膜，例如應用于麥克風的敏感膜、應用于揚聲器的敏感膜或者應用于壓力傳感器的敏感膜等。

背景技術

隨著科技的發展，傳感器成為電子產品中必不可少的部件，例如用于拾取聲音的麥克風、用于發聲的揚聲器，或者用來測量壓力的壓力傳感器等等。

這些傳感器基本上都是應用了敏感膜的形變來獲得檢測的信息。例如麥克風結構，其包括構成平板電容器結構的敏感膜以及背極板，當敏感膜感應外界傳入的聲音時，發生形變以改變敏感膜與背極板之間的距離，從而使得平板電容器結構輸出變化的電信號，以該電信號來表征聲音信息。

通常，為了提高敏感膜的形變幅度，會在敏感膜的邊緣設置一圈環狀的折環結構，即波紋結構。通過該折環結構可以使敏感膜中部區域的變化幅度變大，提高檢測的效果。但是當敏感膜遭受較大的沖擊時，該折環結構會使得敏感膜的中部區域發生過大的變形，這有可能會造成敏感膜的失效。

實用新型內容

本實用新型的一個目的是提供一種敏感膜的新技術方案。

根據本實用新型的第一方面，提供了一種敏感膜，包括膜本體，在所述膜本體的邊緣區域設置有折環結構，所述折環結構呈非封閉的環狀；所述折環結構的非封閉位置構成非封閉區，所述膜本體位于折環結構兩側的位置與非封閉區是一體且連續的；所述折環結構設置有至少兩個，該至少兩個折環結構同心設置且分布在膜本體的徑向方向上。

可選地，相鄰兩個折環結構的橫截面不同。

可選地，被其中一個折環結構間隔開的兩個折環結構的橫截面相同。

可選地，不同折環結構的非封閉區一一相對應。

可選地，不同折環結構的非封閉區相互錯開。

可選地，相鄰兩個折環結構的橫截面不同，橫截面相同的折環結構的非封閉區一一相對應，橫截面不同的折環結構的非封閉區相互錯開。

可選地，每個折環結構的非封閉區設置有至少兩個，所述環狀的折環結構被至少兩個非封閉區間隔成至少兩個區段。

可選地，單個折環結構中，至少有兩個區段的橫截面不同。

根據本實用新型的另一方面，還提供了一種傳感器，包括上述的敏感膜。

可選地，所述傳感器為壓力傳感器、麥克風或揚聲器。

本實用新型的敏感膜，設置有至少兩個折環結構，每個折環結構都是非封閉的，通過該至少兩個折環結構可以更好地釋放膜內應力。另外，多個折環結構共同制約敏感膜的形變，使得保證敏感膜的可靠性，使敏感膜可以適用于不同的工況。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述，本實用新型的其它特征及其優點將會變得清楚。

附圖說明

被結合在說明書中并構成說明書的一部分的附圖示出了本實用新型的實施例，并且連同其說明一起用于解釋本實用新型的原理。

圖1是本實用新型麥克風的結構示意圖。

圖2是本實用新型折環結構第一實施方式的結構示意圖。