[實用新型]一種便于移動的接觸式晶圓測厚儀

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821010496.0
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN208398773U
• 公開（公告）日: 2019-01-18
• 發(fā)明（設計）人: 汪文堅;孫健;袁泉;李鋒;蔡道庫
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇納沛斯半導體有限公司
• 主分類號: G01B5/06
• 分類號: G01B5/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種便于移動的接觸式晶圓測厚儀，包括測厚儀本體（1）和探頭行走裝置，其特征在于：所述測厚儀本體（1）的底部設置有底座（2），所述底座（2）的上表面設置有旋轉(zhuǎn)托盤（3），所述旋轉(zhuǎn)托盤（3）的上表面放置有晶圓（4），所述旋轉(zhuǎn)托盤（3）的底部貫穿底座（2）的上表面到達底座（2）的內(nèi)部，所述旋轉(zhuǎn)托盤（3）的底面設置有旋轉(zhuǎn)齒輪盤（6），所述旋轉(zhuǎn)齒輪盤（6）的側(cè)面設置有第一驅(qū)動電機（8），所述第一驅(qū)動電機（8）的頂端設置有驅(qū)動齒輪盤（7），所述驅(qū)動齒輪盤（7）的側(cè)表面與旋轉(zhuǎn)齒輪盤（6）的側(cè)表面相接觸，所述旋轉(zhuǎn)托盤（3）的上方設置有探頭行走裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于移動的接觸式晶圓測厚儀，其特征在于：所述探頭行走裝置包括第一導軌（9）、第一行走塊（10）、伸縮桿（11）、滾輪（12）、同步傳動帶（13）、第二驅(qū)動電機（14）和旋轉(zhuǎn)桿（15），所述第一導軌（9）設置在測厚儀本體（1）的內(nèi)部，所述第一導軌（9）的兩側(cè)設置有第一行走塊（10），所述第一行走塊（10）的一側(cè)表面設置有第二驅(qū)動電機（14），所述第二驅(qū)動電機（14）的一端設置有旋轉(zhuǎn)桿（15），所述旋轉(zhuǎn)桿（15）的一端貫穿第一行走塊（10）的一側(cè)表面到達第一行走塊（10）的另一面，所述旋轉(zhuǎn)桿（15）的一端頂端設置有滾輪（12），所述滾輪（12）的側(cè)面與第一導軌（9）的側(cè)面相接觸，所述旋轉(zhuǎn)桿（15）的外側(cè)表面設置有同步傳動帶（13）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于移動的接觸式晶圓測厚儀，其特征在于：所述第一行走塊（10）的底端設置有伸縮桿（11），所述伸縮桿（11）的底端設置有接觸式探頭（5）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于移動的接觸式晶圓測厚儀，其特征在于：所述第一行走塊（10）的外觀結(jié)構(gòu)為U形結(jié)構(gòu)，所述第一行走塊（10）的兩側(cè)表面對稱設置有第二驅(qū)動電機（14），所述第二驅(qū)動電機（14）的一端都設置有旋轉(zhuǎn)桿（15）。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于移動的接觸式晶圓測厚儀，其特征在于：所述第一導軌（9）的兩側(cè)表面都均勻的對稱設置有滾輪（12），所述滾輪（12）的內(nèi)部設置有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的另一端貫穿滾輪（12）并與第一行走塊（10）的側(cè)面連接，所述旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)面都與同步傳動帶（13）的內(nèi)側(cè)表面接觸。