[實用新型]一種洗料式晶硅廢料回收去膠裝置

有效

• 申請號: 201821003140.4
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN208802837U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 鄧君;孫振忠;李川;陳海彬
• 申請（專利權）人: 東莞理工學院
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公布了一種洗料式晶硅廢料回收去膠裝置，包括弧形上蓋、機體，機體內設置有清洗筒和第二安裝架，將機體分隔為凈化室、濕法去膠室以及燃燒去膠室，濕法去膠室內設置有去膠液，燃燒去膠室的底部設置有燃燒器；機體的上端設置有第一安裝架，第一安裝架內設置有旋轉氣缸二組，旋轉氣缸二組的轉軸連接洗料機構，洗料機構包括第一篩網和第二篩網，第一篩網與第二篩網鉸接，第一篩網上連接有連接環，連接環與清洗筒鉸接，并與清洗筒內壁旋轉連接；本實用新型的目的是針對以上問題，提供一種洗料式晶硅廢料回收去膠裝置，該裝置通過第一篩網和第二篩網，將落入的晶硅廢料來回篩動，使粘在晶硅上的灰塵清洗干凈，有效提高了晶硅廢料的清洗速度。

技術領域

本發明屬于晶硅廢料的回收領域，具體為一種洗料式晶硅廢料回收去膠裝置。

背景技術

人類進入21世紀后，隨著半導體工業的快速發展，高純晶體硅材料得到了廣泛應用，在制成芯片過程中，經常會由于質量不合格，或切割過程中產生晶硅廢料，如果能將這些廢料綜合回收利用，將會減少環境污染，提高能源的利用率，對緩解我國單晶硅和多晶硅的緊缺，減少進口有重大意義。

單晶廢料和多晶廢料與其他原料有區別，廢料上具有殘留的UV膠水和粘膠條，若不完全去除將導致多晶硅錠純度不達標等問題，在晶硅廢料去膠技術前，需要對晶硅廢料進行水洗，水洗后的污水直接排放造成水資源嚴重浪費，且在水洗完畢后需要晾干，導致時間延長，極大的降低了去膠效率。

發明內容

本發明的目的是針對以上問題，提供一種洗料式晶硅廢料回收去膠裝置，該裝置通過第一篩網和第二篩網，將落入的晶硅廢料來回篩動，使粘在晶硅上的灰塵清洗干凈，有效提高了晶硅廢料的清洗速度，隨后通過烘干、燃燒工序，保證其去膠質量。

為實現以上目的，本發明采用的技術方案是：一種洗料式晶硅廢料回收去膠裝置，包括弧形上蓋，所述上蓋下端設置有機體，其特征在于，所述機體內設置有清洗筒和第二安裝架，將機體分隔為凈化室、濕法去膠室以及燃燒去膠室，所述的濕法去膠室內設置有去膠液，燃燒去膠室的底部設置有燃燒器；所述機體的上端設置有第一安裝架，所述第一安裝架內設置有旋轉氣缸二組，所述旋轉氣缸二組的轉軸穿過機體伸入清洗筒內連接洗料機構，所述洗料機構包括具有圓形結構的第一篩網和第二篩網，所述第一篩網與第二篩網鉸接，第二篩網與轉軸固定連接，第一篩網上連接有連接環，所述連接環與清洗筒鉸接，并與清洗筒內壁旋轉連接；所述清洗筒的上端開設有連通濕法去膠室的下料口。

進一步的，所述濕法去膠室內設置有立柱，所述立柱上設置有螺旋板，所述的立柱上設置有開口，其桿身上具有多個與開口連通的熱氣口，所述的熱氣口其截面位于兩螺旋板之間；所述立柱的下端設置有熱氣管，所述熱氣管與燃燒去膠室連接，濕法去膠室內還設置有出氣口。

進一步的，位于清洗筒的外側機體內設置有抽水泵，循環水管連接抽水泵，一端伸入凈化室，另一端與清洗筒的底部連通；所述凈化室內設置有與水平面傾斜的凈化室底板，所述循環水管口位于凈化室底板的上端，所述上蓋上插入有過濾柄桿，所述過濾柄桿由柄頭、柄桿、柄桿架組成，所述柄桿架內設置有濾網，所述過濾柄桿伸入機體內，其柄桿架與濾網所形成的槽口正對循環水管口。

進一步的，所述第一安裝架上設置有旋轉氣缸一組，所述旋轉氣缸一組的活塞轉桿上安裝有錐形滾筒、引料錐筒以及翻料板，所述錐形滾筒和引料錐筒位于濕法去膠室內，翻料板位于燃燒去膠室內，所述錐形滾筒的筒身上設置有多個濾水孔和卷料折板，所述的引料錐筒上開設有多個用于銜接物料從卷料折板處掉落的引料槽，所述的清洗筒為方形筒，其底部和機體上設置有密封塊，引料錐筒與密封塊配合將濕法去膠室與燃燒去膠室隔開，所述機體上的底板其截面與錐形滾筒齊平。

進一步的，所述的卷料折板為“Z”型結構，所述錐形滾筒的側部設置有側擋板。

進一步的，所述的密封塊由密封槽以及第二連接部組成，所述密封槽與第二連接部通過第一連接部連接，且第一連接部與第二連接部之間形成不小于90度的夾角。