[實用新型]一種用于晶硅廢料回收的去膠裝置

有效

• 申請號: 201821003139.1
• 申請日: 2018-06-28
• 公開（公告）號: CN208802836U
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 鄧君;孫振忠;李川;陳海彬
• 申請（專利權）人: 東莞理工學院
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公布了一種用于晶硅廢料回收的去膠裝置，包括弧形上蓋、機體，機體內設置有清洗筒和第二安裝架，將機體分隔為凈化室、濕法去膠室以及燃燒去膠室，濕法去膠室內設置有去膠液，燃燒去膠室的底部設置有燃燒器；本實用新型的目的是針對以上問題，提供一種用于晶硅廢料回收的去膠裝置，該裝置通過水洗，防止灰塵對去膠液的造成污染，為防止溶液去膠質量不佳，通過烘干、燃燒，保證其去膠效率；灰塵的廢液通過凈化達到循環使用要求。

技術領域

本發明屬于晶硅廢料的回收領域，具體為一種用于晶硅廢料回收的去膠裝置。

背景技術

人類進入21世紀后，隨著半導體工業的快速發展，高純晶體硅材料得到了廣泛應用，在制成芯片過程中，經常會由于質量不合格，或切割過程中產生晶硅廢料，如果能將這些廢料綜合回收利用，將會減少環境污染，提高能源的利用率，對緩解我國單晶硅和多晶硅的緊缺，減少進口有重大意義。

單晶廢料和多晶廢料與其他原料有區別，廢料上具有殘留的UV膠水和粘膠條，若不完全去除將導致多晶硅錠純度不達標等問題，目前現有的對晶硅廢料在去膠技術中，其去膠質量還遠遠達不到要求，導致這種低純度硅無法制取半導體材料，只能用于配制成一些特殊性能的合金，其價值遠遠降低。

發明內容

本發明的目的是針對以上問題，提供一種用于晶硅廢料回收的去膠裝置，該裝置通過水洗，防止灰塵對去膠液的造成污染，為防止溶液去膠質量不佳，通過烘干、燃燒，保證其去膠效率；灰塵的廢液通過凈化達到循環使用要求。

為實現以上目的，本發明采用的技術方案是：一種用于晶硅廢料回收的去膠裝置，包括弧形上蓋，所述上蓋下端設置有機體，其特征在于，所述機體內設置有清洗筒和第二安裝架，將機體分隔為凈化室、濕法去膠室以及燃燒去膠室，所述的濕法去膠室內設置有去膠液，燃燒去膠室的底部設置有燃燒器；所述機體的上端設置有第一安裝架，所述第一安裝架內設置有電機，所述電機的絲桿轉軸穿過機體伸入清洗筒內與清洗筒軸承連接，所述絲桿轉軸上設置有與向濕法去膠室相傾斜的瀝板，所述瀝板與絲桿轉軸螺紋連接，所述瀝板上開設有濾孔，所述清洗筒的上端開設有連通濕法去膠室的下料口；位于清洗筒的外側機體內設置有抽水泵，循環水管連接抽水泵，一端伸入凈化室，另一端與清洗筒的底部連通；所述凈化室內設置有與水平面傾斜的凈化室底板，所述循環水管口位于凈化室底板的上端，所述上蓋上插入有過濾柄桿，所述過濾柄桿由柄頭、柄桿、柄桿架組成，所述柄桿架內設置有濾網，所述過濾柄桿伸入機體內，其柄桿架與濾網所形成的槽口正對循環水管口。

進一步的，所述清洗筒內設置有限位塊。

進一步的，所述第一安裝架上設置有旋轉氣缸，所述旋轉氣缸的活塞轉桿上安裝有錐形滾筒、引料錐筒以及翻料板，所述錐形滾筒和引料錐筒位于濕法去膠室內，翻料板位于燃燒去膠室內，所述錐形滾筒的筒身上設置有多個濾水孔和卷料折板，所述的引料錐筒上開設有多個用于銜接物料從卷料折板處掉落的引料槽，所述的清洗筒為方形筒，其底部和機體上設置有密封塊，引料錐筒與密封塊配合將濕法去膠室與燃燒去膠室隔開，所述機體上的底板其截面與錐形滾筒齊平。

進一步的，所述的卷料折板為“Z”型結構，所述錐形滾筒的側部設置有側擋板。

進一步的，所述的密封塊由密封槽以及第二連接部組成，所述密封槽與第二連接部通過第一連接部連接，且第一連接部與第二連接部之間形成不小于90度的夾角。

進一步的，所述引料錐筒上固定有密封環，所述密封環與密封槽配合。

進一步的，所述燃燒去膠室與燃燒器之間設置有置料網板，其燃燒去膠室的下端設置有燃燒倉，所述置料網板與燃燒倉通過銷軸鉸接，所述燃燒倉上設置有燃燒殼體，所述燃燒殼體上固定有連桿，所述置料網板的末端底部設置有支撐板，所述支撐板上開設有滑槽，所述支撐板通過滑槽與連桿活動連接，所述支撐板的另一端連接有卸料門，所述卸料門一端與燃燒殼體鉸接，另一端通過旋關塊與燃燒倉配合，所述的卸料門上設置有拉環，所述的旋關塊通過軸芯與燃燒倉連接。