[實用新型]微機電換能器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821002537.1 | 申請日： | 2018-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN208847381U | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | M·亞巴西加瓦蒂;D·卡爾塔比亞諾;F·布拉格辛 | 申請（專利權(quán)）人： | 意法半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | G01L5/00 | 分類號： | G01L5/00;G01L5/16 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務(wù)所 11256 | 代理人： | 王茂華 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 國省代碼： | 意大利;IT |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓阻式傳感器 半導體本體 第一表面 微機電換能器 延伸 第二表面 源區(qū) 多軸力傳感器 彼此相對 溝槽形成 密封腔體 軸線正交 法向力 硅技術(shù) 剪切力 結(jié)構(gòu)體 和面 測量 包圍 | ||
1.一種微機電換能器，其特征在于，包括：
半導體本體，其具有彼此相對并且平行于水平平面的第一表面和第二表面；
多個溝槽，其在所述半導體本體中從所述第一表面朝向所述第二表面延伸，所述多個溝槽包括第一對溝槽和第二對溝槽，所述第一對溝槽具有在所述水平平面上的沿著第一軸線的相應主延伸方向，所述第二對溝槽具有在所述水平平面上的沿著第二軸線的相應主延伸方向，所述第二軸線不同于所述第一軸線并且與所述第一軸線形成一定角度；
第一壓阻式傳感器和第二壓阻式傳感器，所述第一壓阻式傳感器和所述第二壓阻式傳感器在所述半導體本體的所述第一表面處延伸并且分別被布置在所述第一對溝槽和所述第二對溝槽之間，其中所述第一壓阻式傳感器、所述第二壓阻式傳感器和所述多個溝槽形成有源區(qū)；以及
第一結(jié)構(gòu)體，其被機械地耦接到所述半導體本體的所述第一表面以形成包圍所述有源區(qū)的第一密封腔體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電換能器，其特征在于，其中所述第二軸線正交于所述第一軸線。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電換能器，其特征在于，其中：
所述第一對溝槽包括沿著彼此重合的相應的主延伸方向被對齊的兩個溝槽，所述第一壓阻式傳感器沿著所述第一對溝槽的所述重合的主延伸方向被對齊；以及
所述第二對溝槽包括沿著彼此重合的相應的主延伸方向被對齊的兩個溝槽，所述第二壓阻式傳感器沿著所述第二對溝槽的所述重合的主延伸方向被對齊。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電換能器，其特征在于，其中所述第一對溝槽和所述第二對溝槽中的每一對溝槽包括兩個溝槽，所述兩個溝槽沿著平行于彼此并且彼此不同的相應的主延伸方向被對齊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機電換能器，其特征在于，進一步包括：
第三壓阻式傳感器和第四壓阻式傳感器；
其中所述多個溝槽包括平行于彼此并且平行于所述第一對溝槽的第三對溝槽以及平行于彼此并且平行于所述第二對溝槽的第四對溝槽；以及
其中所述第三壓阻式傳感器和所述第四壓阻式傳感器被分別布置在所述第三對溝槽和所述第四對溝槽之間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電換能器，其特征在于，其中：
所述第三對溝槽包括沿著彼此重合的相應的主延伸方向被對齊的兩個溝槽，所述第三壓阻式傳感器沿著所述第三對溝槽的所述重合的主延伸方向被對齊；以及
所述第四對溝槽包括沿著彼此重合的相應的主延伸方向被對齊的兩個溝槽，所述第四壓阻式傳感器沿著所述第四對溝槽的所述重合的主延伸方向被對齊。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電換能器，其特征在于，其中所述第三對溝槽和所述第四對溝槽中的每一對溝槽包括兩個溝槽，所述兩個溝槽沿著平行于彼此并且彼此不同的相應的主延伸方向被對齊。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機電換能器，其特征在于，其中：
所述第一壓阻式傳感器和所述第三壓阻式傳感器相對于平行于所述第一軸線并穿過所述第一密封腔體的幾何中心的第一對稱軸線對稱，使得沿著所述第二軸線施加的正向力分量向所述第一壓阻式傳感器引發(fā)壓縮平面應力，并向所述第三壓阻式傳感器引發(fā)拉伸平面應力，而沿著所述第二軸線施加的負向力分量向所述第一壓阻式傳感器引發(fā)拉伸平面應力，并向所述第三壓阻式傳感器引發(fā)壓縮平面應力；
所述第二壓阻式傳感器和所述第四壓阻式傳感器相對于平行于所述第二軸線并穿過所述第一密封腔體的所述幾何中心的第二對稱軸線對稱，使得沿著所述第一軸線施加的正向力分量向所述第二壓阻式傳感器引發(fā)壓縮平面應力，并向所述第四壓阻式傳感器引發(fā)拉伸平面應力，而沿著所述第一軸線施加的負向力分量向所述第二壓阻式傳感器引發(fā)拉伸平面應力，并向所述第四壓阻式傳感器引發(fā)壓縮平面應力。
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