[實用新型]一種單晶爐石墨加熱裝置有效
| 申請號: | 201820984247.5 | 申請日: | 2018-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN208346304U | 公開(公告)日: | 2019-01-08 |
| 發明(設計)人: | 蘇光都;楊小剛;徐文靜;李航 | 申請(專利權)人: | 江西中昱新材料科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/14 | 分類號: | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人: | 羅滿 |
| 地址: | 334000 江西省上*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 條板組件 板組件 連接板 石墨加熱裝置 加熱器 圓筒狀結構 單晶爐 本實用新型 加熱器結構 安裝定位 安裝固定 產品加工 發生故障 故障排除 爐內加熱 完成裝置 優化裝置 原料硅塊 單元塊 電極板 拼接條 維修性 相鄰條 圓筒狀 中空的 并接 多塊 預設 定型 拼接 平行 報廢 組裝 容納 更新 | ||
本實用新型公開了一種單晶爐石墨加熱裝置,包括多塊相互拼接的條板組件及連接板,各條板組件長度方向相互平行并接,構成中空的圓筒狀結構,用于容納裝有原料硅塊的容器,連接板用于將相鄰條板組件的端部安裝定位;由條板組件構成的圓筒狀結構上每間隔預設角度還設置有電極板結構。通過相互拼接條板組件代替原先一體式的加熱器結構,通過連接板將相鄰的條板組件安裝固定,定型成圓筒狀的結構,以實現爐內加熱,多個相互連接組裝的單元塊構成加熱器的整體的設計,在裝置局部發生故障時僅需更換對應的條板組件即可完成裝置更新故障排除,相應的在產品加工時僅選用合格的條板組件即可,避免由于局部的缺陷報廢整個加熱器,優化裝置的維修性。
技術領域
本實用新型涉及光伏單晶硅制造技術領域,更具體地說,涉及一種單晶爐石墨加熱裝置。
背景技術
單晶硅制造是使用單晶爐,在高溫下熔化原料硅塊,采用直拉法拉制單晶硅棒。加熱器是單晶爐中提供高溫的重要部件,通常使用石墨加熱器,其具有導電性、耐高溫、抗熱震性好、易加工等特點,成為被廣泛使用的單晶爐加熱器,并且其為主要耗材之一,直接影響單晶硅的制造成本。
傳統的加熱器基本為爐體整體結構,石墨加熱器由于在高溫下長期使用,加熱器腳會被硅蒸汽侵蝕,導致與電極接觸不良及造成打火,如不進行維修或更換,最終會導致開裂或折斷至整個加熱器無法使用。而多采用加熱器設計其主體和設置在主體下的可拆卸加熱器腳,可通過更換加熱器腳來實現快速修復,但無法避免硅蒸汽侵蝕加熱器主體造成主體損壞,導致整個加熱器無法使用。
并且,進一步的由于現有的單晶爐用石墨加熱器主體為一體成型,在生產過程中發生的產品缺陷,將導致整個加熱器存在嚴重的缺陷無法使用,另外在長期使用過程中,若出現局部損壞,也將導致整個加熱器無法使用,需要整體更換,造成較高的設備維護成本。
綜上所述,如何有效地解決傳統石墨加熱器其結構容易出現的局部損壞會導致加熱器整體報廢,造成設備成本過高等的技術問題,是目前本領域技術人員急需解決的問題。
實用新型內容
有鑒于此,本實用新型的目的在于提供一種單晶爐石墨加熱裝置,該單晶爐石墨加熱裝置的結構設計可以有效地解決傳統石墨加熱器其結構容易出現的局部損壞會導致加熱器整體報廢,造成設備成本過高等的技術問題。
為了達到上述目的,本實用新型提供如下技術方案:
一種單晶爐石墨加熱裝置,包括多塊相互拼接的條板組件及連接板,各所述條板組件長度方向相互平行并接,構成中空的圓筒狀結構,用于容納裝有原料硅塊的容器,所述連接板用于將相鄰所述條板組件的端部安裝定位;由所述條板組件構成的圓筒狀結構上每間隔預設角度還設置有電極板結構。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,所述電極板結構一端設置有彎折腳,所述彎折腳伸出由所述條板組件所構成圓筒狀結構的端部。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,所述電極板結構背離所述彎折腳的一端設置有平行長度方向的開槽,所述開槽將電極板結構分為寬度均與所述條板組件寬度一致的兩支。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,所述電極板結構背離所述彎折腳的一端設置有沉槽,所述沉槽內設置有螺紋安裝孔,用于裝入螺紋安裝件安裝固定。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,所述條板組件的兩端也均設置有所述沉槽,所述沉槽內設置有螺紋安裝孔,用于裝入螺紋安裝件將所述連接板與條板組件安裝固定。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,所述螺紋安裝件具體為石墨螺栓。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,每個所述沉槽內均均勻分布有4個所述螺紋安裝孔。
優選的,上述單晶爐石墨加熱裝置中,所述連接板呈圓弧形彎曲,其中部位置設置有凸起結構用于分隔相鄰的條板組件。
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